期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
自动实时X射线检测技术在半导体制程控制中的应用 被引量：1
1
作者 Eckhard Sperschneider 《电子工业专用设备》 2003年第5期27-31,共5页
对X光检测的不同技术在半导体制程上的应用作了详细的介绍;着重讨论了全旋倾斜(off-axis)X射线技术的特点和优势。
关键词 全旋倾斜x射线技术 x射线透视检测技术 三维体层x射线摄像技术 机算机处理层 析x射线成像 通用分层x射线成像 数字层析合成成像技术
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部