大非球面镜的郎奇检验灵敏度理论研究及仿真分析

为了研究等间距直线条光栅的周期及其他相关参数的变化对大非球面镜朗奇检验法的影响,提出了一种评估郎奇检验灵敏度大小的新方法。其检验灵敏度定义为一个光栅周期所能检测到的镜面偏差大小能力。在朗奇检验的几何原理基础上,利用光线追迹法讨论了镜面偏差与朗奇光栅周期之间的关系,并以此推导出检验灵敏度公式,计算了抛物面镜的朗奇检测灵敏度。分析结果表明,如果给定镜子的规格参数及检验光路,朗奇检验灵敏度分别随着光栅周期间隔和半通光口径的变大而减小。