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硅微透镜阵列与红外焦平面阵列的单片集成 被引量：1
1
作者 陈四海 孔令斌 +1 位作者 何苗 易新建 《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期29-31,共3页
基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵... 基于标量衍射理论 ,考虑焦距长度与微透镜尺寸的关系 ,提出了一种新的制作二元光学衍射微透镜的方法———部分刻蚀法 .利用这种方法制作了 2 5 6× 2 5 6硅微透镜阵列 ,并将其与PtSi红外焦平面阵列单片集成在一起 ,使红外焦平面阵列的灵敏度R和比探测率D 都提高了 1. 展开更多
关键词 二元化学 部分刻蚀法 微透镜阵列 红外焦平面阵列 单片集成 衍射微透镜
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