高酸解性聚合物的合成及应用

采用常见的芳香二酸（对苯二甲酸和1,4-萘二甲酸）与1,4-二（2-乙烯氧基乙氧基）苯（1,4-DVEB）聚合,得到了2种新型的芳香酯缩醛聚合物,这些聚合物在各种常用溶剂如丙二醇甲醚醋酸酯（PG-MEA）、二氧六环、乙二醇乙醚中有较好的溶解性,分子量（Mn）3 000~5 000,热分解温度都大于230℃,用DSC测得其玻璃化转变温度在60℃左右.这2种酯缩醛聚合物在室温即可酸解,因此可与光产酸剂等组成无需后烘加热的正性化学增幅型感光成像材料,可用于高感度PS版或UV-CTP版感光剂.

一种新型i-线化学增幅型光致抗蚀剂材料的制备及性质

将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合,组成正性化学增幅型光致抗蚀剂,用于高感度化学增幅型i-线(365nm)光致抗蚀剂.实验结果表明:在酸的作用下,该类聚合物可分解为小分子片段;与传统的光致抗蚀剂体系相比,该体系用稀碱水显影时具有更高的溶解速率,且可进一步提高感度,可制作线宽小于0.5μm的图像.