一种重氮萘醌系光致抗蚀剂的制备与性质研究

本实验采用2,3,4-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体,与2,1,4-重氮萘醌磺酰氯进行酯化,合成感光化合物,得到产物1.46g,测得熔点为143℃,并测定其红外光谱,之后再制得酚醛树脂-重氮萘醌磺酸酯正性抗蚀剂,然后进行成像实验,发现最佳曝光时间为90s,最小分辨率为10μm.

一种新型i-线化学增幅型光致抗蚀剂材料的制备及性质

将具有高酸解活性的酯缩醛聚合物与重氮萘醌磺酸酯配合,组成正性化学增幅型光致抗蚀剂,用于高感度化学增幅型i-线(365nm)光致抗蚀剂.实验结果表明:在酸的作用下,该类聚合物可分解为小分子片段;与传统的光致抗蚀剂体系相比,该体系用稀碱水显影时具有更高的溶解速率,且可进一步提高感度,可制作线宽小于0.5μm的图像.

高分辨率I-line正性光刻胶的制备及应用性能研究

利用两种不同重均分子量的改性酚醛树脂(PF)与一种三个酯化度的四羟基二苯甲酮―重氮萘醌磺酸酯光敏剂(PAC)按比例配制,加入适量助剂优化感光性能,制备出一种应用于电子触屏加工领域的I-line正性光刻胶,其具有刻蚀精度高、工艺性能优良、单位成本较低等优势特点。