用酶溶液蚀刻重铬酸凝胶制造折射微透镜阵列

研发了一种用酶溶液蚀刻重铬酸铵凝胶（ADG）制造折射微透镜阵列新方法。通过高精密二元掩模使ADG曝光，ADG曝光部分则发生交联反应。一般来说，水显影后产生的凹凸深度都很浅（〈1μm），所以显影ADG使用蛋白质浓度为0．2％的酶溶液作为显影液，加深了ADG的凹凸深度。在37℃温度下，ADG和酶溶液之间发生生物化学反应，而且由于表面张力，显影后的ADG变成球面结构。介绍加工工艺最佳技术参数。详细讨论酶溶液蚀刻ADG达到深凹凸和ADG凸起的原理。用这工艺制造微透镜阵列，无需昂贵设备和熟练技术，而且耗时少。介绍实验结果，并用轮廓仪和干涉显微镜作了评价。