满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度 ,其长度测量不确定度达到 ( 0 .0 2 +0 .2 L )μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析 。

双波长激光量块干涉仪研制

本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 。

接触定位式量块干涉仪测量不确定度的分析

分析了一台用于测量量块的激光干涉仪的测量不确定度。着重介绍了干涉信号质量 ,空气折射率及材料热膨胀等因素对测量不确定度的影响。

接触式量块激光干涉仪测量软件的设计与应用

本文针对接触式量块激光干涉仪的自动测量软件提出一套简便实用的设计方法 ,包括数据结构的定义、测量界面的组成、数据文件的自动处理及测量结果的自动保存等。在实验中 ,测头接触的重复性优于 1nm ,测量量块的重复性小于 5nm。

端度计量

端度计量是几何量计量的一项基础工作,国内外对量块、量块对和台阶规端度标准器的高精度测量技术开展了大量的研究。量块的测量方法分为比较法和绝对干涉法。比较法介绍了基于高定位重复性测头和干涉比较技术的高精度量块比较仪,其测量不确定度0.04μm+0.4×10^(-6)L。绝对干涉法介绍了量块绝对干涉测量的测量原理及国内干涉测量的发展历程。绝对干涉法主要包括单端和双端量块干涉测量方法,相应地研制了需要研合测量的单端移相量块干涉仪和无需研合的双端移相量块干涉仪,其测量不确定度达到15 nm+0.15×10^(-6)L。以移相量块干涉仪为基础开展了量块对和台阶规的测量方法研究。为实现量块对的高精度测量,通过不确定度分析和实验验证获得并规定了单端移相量块干涉仪测量量块对的限定测量条件。采用移相量块干涉仪测量量块对长度差的测量不确定度不超过10 nm。采用单端移相量块干涉仪可以实现台阶规的高精度测量,通过对干涉条纹的分析计算,台阶中心高度测量不确定度达到(0.01~0.1)μm。为满足超高精度的长度测量的需求,研究超高精度干涉测量技术是端度计量的发展趋势。已有的单端和双端移相干涉技术为基于全新设计的超高精度干涉仪的研制奠定了基础,从而实现纳米级测量不确定度的端度测量。

稳频激光研究50年——长度量子基准室的半个世纪

1964年,在中国计量科学研究院建成后的第十个年头,组建了第二光学室（第一光学室是现在光学所的前身）,延续至今变成长度量子基准实验室,从事稳频激光及其应用的研究已有50年。半个世纪以来,不仅使我国长度计量基准从无到有,而且建成了世界先进水平的长度计量基准实验室。其间先后有50余人参加了其中的工作,可以说在出成果和出人才两个方面都取得了显著成绩。