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一维原子刻蚀的数值模拟(英文) 被引量：1
1
作者 何明 李若虹 +2 位作者 王晓锐 王谨 詹明生 《计算物理》 CSCD 北大核心 2004年第3期327-332,共6页
　通过直接的数值模拟,分析了原子束在激光驻波场下传播的动力学行为.估计了Cr原子沉积在基片上的焦点的大小,同时还发现一些实验参数会影响原子刻蚀的精度:如原子束的速度分布、激光的失谐量和激光束的直径等.
关键词 原子刻蚀 激光驻波场 量子力学数值模拟 原子物理学 失谐量
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