球形金刚石的生长机理研究

用热丝化学气相沉积设备研究了钢渗铬层、P-Si(100)基片和三氧化二铝基底表面形成的球形金刚石.研究结果表明:在不适合球形金刚石形成的工艺条件下,在P-Si(100)基片和三氧化二铝表面沉积的晶形很好的金刚石膜中也存在球形金刚石团块(称为异常长大金刚石团块);首次使用金刚石“异常晶核”解释了异常长大金刚石团块的形成.球形金刚石膜由异常长大金刚石团块组成.异常长大金刚石团块的形成不但与沉积工艺参数有关,而且与CVD金刚石生长特性有关.