微喇曼和红外光谱法研究化学气相沉积金刚石多晶膜结晶质量特性

研究了化学气相沉积多晶膜的宏观性能(颜色和透光性)与微观性能(结晶质量、相纯度和氢杂质含量)之间的关系,喇曼谱与金刚石膜中氢杂质含量(红外光谱测得)的关联性.给出了根据颜色和透明度来区分样本膜质量的实验依据,颜色较深的膜的结晶质量差、相纯度低、氢杂质含量高,1 332cm-1金刚石特征喇曼峰强度低,半峰宽大.由于多晶膜生长不均匀性、多晶以及粗糙度的影响,生长面的微喇曼光谱随采样点变化会产生较大的偏差,而光滑生长界面的喇曼光谱随采样点的变化偏差较小,因此生长界面的喇曼光谱更能反映化学气相沉积法制备金刚石膜的整体质量.

立方氮化硼单晶-金刚石薄膜异质p-n结

在 Ｓｉ 中掺杂 Ｎ 型片状立方氮化硼单晶的（１１１） 面上，利用热灯丝化学气相沉积方法生长了掺 Ｂ 的 Ｐ 型金刚石薄膜，从而制得了立方氮化硼单晶金刚石薄膜异质ｐｎ 结，测试了该ｐｎ 结的 Ｖ Ａ 特性，结果表明其整流特性良好。

立方氮化硼单晶——金刚石薄膜异质P—N结

本文在Ｓｉ掺杂Ｎ型片状立方氮化硼单晶（１１１）面上利用热灯丝化学汽相沉积方法生长了掺Ｂ的Ｐ型金刚石薄膜，从而制得了立方氮化硼单晶－金刚石薄膜异质Ｐ－Ｎ结，测试了该Ｐ－Ｎ结的Ｖ－Ａ特性，结果表明其整流特性良好。

其它

O484 96053344金刚石膜与军用光学=Diamond thin films andmilitary applications[会,中]/李福升,赵强,雷宇鸣(航空工业总公司8358所.天津(300192))∥中国光学学会95年全国薄膜技术学术研讨会.—湖南.张家界,95.10阐述了金刚石多晶膜的性能及制备方法。