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负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究
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作者 王必本 王万录 +1 位作者 廖克俊 肖金龙 《广西师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2000年第3期12-15,共4页
利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .
关键词 热灯丝CVD 负衬底偏压 金刚石核 金刚石
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负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化影响的理论分析
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作者 王必本 王万录 +1 位作者 廖克俊 肖金龙 《河南师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2000年第2期42-45,共4页
从理论上研究了负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化的影响 。
关键词 负衬底偏压 离子轰击 金刚石核 金刚石
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离子轰击对金刚石核形成能影响的理论探讨
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作者 徐幸梓 刘天模 王必本 《重庆大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期107-110,共4页
金刚石核化是制备金刚石薄膜的关键。目前 ,负偏压是增强金刚石核化最有效的方法。本工作着重计算了在负偏压增强金刚石核化的过程中 ,金刚石在离子对衬底表面进行轰击导致衬底表面产生微缺陷 (凹坑 )上成核的形成能 ,给出了金刚石的核... 金刚石核化是制备金刚石薄膜的关键。目前 ,负偏压是增强金刚石核化最有效的方法。本工作着重计算了在负偏压增强金刚石核化的过程中 ,金刚石在离子对衬底表面进行轰击导致衬底表面产生微缺陷 (凹坑 )上成核的形成能 ,给出了金刚石的核化能 ,核化密度以及核化速率与凹坑密度的解析函数。结果表明金刚石的核化能随凹坑密度的增大而降低 ,从而导致核化密度及核化速率的提高 ,与文献中的实验结果相一致。分析和讨论了凹坑降低金刚石核形成能的原因。 展开更多
关键词 金刚石核 形成能 凹坑 离子轰击 金刚石 化密度 化速率 薄膜
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用交流偏压MPCVD工艺在非晶SiO2上合成金刚石核
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作者 褚连青 《电子材料快报》 1995年第7期7-8,共2页
关键词 MPCVD工艺 SIO2 金刚石核
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SiN_(x)介质薄膜制备及其对GaN表面金刚石形核生长的影响 被引量:1
5
作者 刘思彤 张钦睿 +5 位作者 郑宇亭 郝志恒 刘金龙 陈良贤 魏俊俊 李成明 《真空与低温》 2023年第1期12-19,共8页
SiN_(x)作为GaN和金刚石异质结构的中间层,不仅是下层GaN材料的保护层,也是上层金刚石的形核生长层,因此SiN_(x)介质薄膜对于GaN表面合成高质量金刚石具有重要的意义。研究分别采用低压化学气相沉积(LPCVD)和磁控溅射(MS)方法在GaN-Si... SiN_(x)作为GaN和金刚石异质结构的中间层,不仅是下层GaN材料的保护层,也是上层金刚石的形核生长层,因此SiN_(x)介质薄膜对于GaN表面合成高质量金刚石具有重要的意义。研究分别采用低压化学气相沉积(LPCVD)和磁控溅射(MS)方法在GaN-Si衬底上制备SiN_(x)介质薄膜。利用扫描电镜、傅立叶红光光谱、X射线衍射、激光拉曼等技术对SiN_(x)薄膜的表面形貌、晶体结构和表面官能团等进行分析。结果表明,采用LPCVD镀制的非晶态SiN_(x)介质薄膜经籽晶播种、形核生长金刚石后,金刚石/SiN_(x)/GaN界面完整致密;采用MS制备的SiN_(x)介质薄膜呈晶态特征,对应的界面出现明显的刻蚀坑。沉积方式会影响SiN_(x)薄膜的晶体结构和微观形貌,高致密度的非晶态结构有利于金刚石层快速形核生长,对于构建金刚石基GaN结构更为有利。 展开更多
关键词 磁控溅射 低温等离子体化学气相沉积 氮化硅 介质钝化薄膜 金刚石
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用原子力显微镜观察金刚石膜核化过程 被引量:5
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作者 廖克俊 王万录 +2 位作者 蔡从中 王必本 孙永伟 《甘肃科学学报》 1999年第3期5-8,共4页
对衬底负偏压热灯丝 C V D 金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察和分析结果表明,在衬底负偏压下正离子对 Si衬底表面轰击导致产生了大量的小坑和尖劈端,以此作为核化点。
关键词 金刚石 热灯丝CVD 原子力显微镜 薄膜
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直流等离子体-热丝化学气相沉积金刚石薄膜的研究 被引量:4
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作者 丁发柱 石玉龙 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第1期1-4,共4页
通过在传统热丝化学气相沉积装置中引入直流等离子体,设计了直流等离子体一热丝化学气相沉积金刚石薄膜的设备,设备中既包括相互独立的灯丝电压和施加的偏压。通过调节偏压可以控制所形成的等离子体的偏流。在这一改进的系统中研究了金... 通过在传统热丝化学气相沉积装置中引入直流等离子体,设计了直流等离子体一热丝化学气相沉积金刚石薄膜的设备,设备中既包括相互独立的灯丝电压和施加的偏压。通过调节偏压可以控制所形成的等离子体的偏流。在这一改进的系统中研究了金刚石薄膜形核和生长过程,利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)分析了金刚石的样品,结果表明,施加偏压不仅能大大促进金刚石的形核密度(1010cm-2)、提高金刚石薄膜的生长速率,金刚石薄膜的取向也随机取向变为(111)定向生长。 展开更多
关键词 直流等离子体 热丝化学气相沉积 金刚石及生长
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触媒合金的组织结构对金刚石合成的影响 被引量:1
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作者 王振强 林清英 吴伯群 《钢铁研究学报》 CAS CSCD 北大核心 1997年第S1期36-40,共5页
在金刚石合成前对触媒进行热处理以改变其组织结构,用成分相同、组织结构不同的NiCrCoSi触媒合金在相同条件下合成金刚石,分析了合成效果的差别,探讨了触媒合金组织结构对金刚石合成的影响。结果表明:再结晶组织比变形组织... 在金刚石合成前对触媒进行热处理以改变其组织结构,用成分相同、组织结构不同的NiCrCoSi触媒合金在相同条件下合成金刚石,分析了合成效果的差别,探讨了触媒合金组织结构对金刚石合成的影响。结果表明:再结晶组织比变形组织有利于粗粒金刚石生成;增大触媒晶粒尺寸可提高金刚石粗粒比;{110}织构有利于粗颗粒金刚石合成;合成前对触媒进行渗碳处理可提高金刚石形核率,但降低金刚石颗粒尺寸。 展开更多
关键词 金刚石合成 触媒合金 金刚石 组织结构 合成金刚石 织构 晶粒尺寸 粗颗粒 再结晶组织 组织形态
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纳米金刚石非金属催化性能研究进展 被引量:4
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作者 张建 王锐 苏党生 《中国科学:化学》 CSCD 北大核心 2012年第4期406-414,共9页
纳米结构碳材料的非金属催化性能研究正在成为国际催化与纳米材料研究的热点之一.纳米金刚石具有分散性能好、表面曲率高、催化性能优异、可批量生产等优点,可高效催化甲烷裂解、丁烷脱氢、乙苯脱氢、亚硝酸根氧化等反应过程.近年来,人... 纳米结构碳材料的非金属催化性能研究正在成为国际催化与纳米材料研究的热点之一.纳米金刚石具有分散性能好、表面曲率高、催化性能优异、可批量生产等优点,可高效催化甲烷裂解、丁烷脱氢、乙苯脱氢、亚硝酸根氧化等反应过程.近年来,人们在纳米金刚石微观结构与表面化学活性研究上取得了一定的进展.本文对纳米金刚石上杂原子官能团表征、sp2壳层形成、催化反应机理方面的最新成果作了综述,并对纳米金刚石催化工艺存在的挑战及其规模化应用前景进行了展望. 展开更多
关键词 纳米金刚石非金属催化壳结构反应机理
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Mid-mantle water transportation implied by the electrical and seismic properties ofε-FeOOH
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作者 Yukai Zhuang Bo Gan +8 位作者 Zhongxun Cui Ruilian Tang Renbiao Tao Mingqiang Hou Gang Jiang Catalin Popescu Gaston Garbarino Youjun Zhang Qingyang Hu 《Science Bulletin》 SCIE EI CSCD 2022年第7期748-754,共7页
Water in the mantle transition zone and the core-mantle boundary plays a key role in Earth’s stratification,volatile cycling,and core formation.If water transportation is actively running between the aforementioned l... Water in the mantle transition zone and the core-mantle boundary plays a key role in Earth’s stratification,volatile cycling,and core formation.If water transportation is actively running between the aforementioned layers,the lower mantle should contain water channels with distinctive seismic and/or electromagnetic signatures.Here,we investigated the electrical conductivity and sound velocity ofε-FeOOH up to 71 GPa and 1800 K and compared them with global tomography data.An abrupt threeorder jump of electrical conductivity was observed above 50 GPa,reaching 1.24(12)×10^(3)S/m at 61 GPa.Meanwhile,the longitudinal sound velocity dropped by 16.8%in response to the high-to-low spin transition of Fe^(3+).The high-conductivity and low-sound velocity ofε-FeOOH match the features of heterogenous scatterers in the mid-lower mantle.Such unique properties of hydrousε-FeOOH,or possibly other Fe-enriched phases can be detected as evidence of active water transportation in the mid-lower mantle. 展开更多
关键词 Mid-lower mantle Electrical conductivity Seismic velocity HETEROGENEITY
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