负衬底偏压增强金刚石核化的机制研究

利用扫描电子显微镜研究了热灯丝 CVD系统负衬底偏压增强金刚石核化的过程 ,给出了实验结果 .着重分析了负衬底偏压增强金刚石核化的机制 .

负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化影响的理论分析

从理论上研究了负衬底偏压增强离子轰击对金刚石核化的影响 。

用原子力显微镜观察金刚石膜核化过程

对衬底负偏压热灯丝 Ｃ Ｖ Ｄ 金刚石膜核化过程进行了研究。利用原子力显微镜和扫描电子显微镜观察和分析结果表明，在衬底负偏压下正离子对 Ｓｉ衬底表面轰击导致产生了大量的小坑和尖劈端，以此作为核化点。