硬质合金基体腐蚀工艺对金刚石薄膜的影响

采用不同的预处理方式浸蚀YG6硬质合金基体表面,随后在热丝化学气相沉积装置上沉积了金刚石薄膜。用扫描电子显微镜、X射线衍射仪以及洛氏硬度计对样品进行了分析检测。结果表明:一步或两步浸蚀法都能抑制沉积过程中基体表面钴的不利影响。采用两步法,即Murakami剂30min腐蚀碳化钨相,再用H2SO4∶H2O2=3∶7(体积比)混合酸腐蚀30s去除钴相,基体表面粗糙,金刚石薄膜形核密度高,结晶质量较好,金刚石涂层与硬质合金基体结合良好。