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金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜 被引量：1
1
作者 许效红 侯云 +2 位作者 王民 王弘 周爱秋 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 2002年第1期61-67,共7页
对用于 MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属 β-二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述 ,对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍 ,并对它们的应用前景作了展望。
关键词 金属β-二酮化合物 金属有机化学气相沉积 铁电氧化物薄膜 MOCVD 结构 性质 制备
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挥发金属β-二酮化合物质量传输过程的试验研究
2
作者 潘水艳 卓钺 杨盛良 《冶金分析》 CAS CSCD 北大核心 2004年第z2期584-586,共3页
为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250... 为了确定以乙酰丙酮铱这种金属β-二酮化合物为沉积源的金属铱MOCVD的具体工艺参数,针对基体面积较大或不规则的工艺条件,本文自行设计了能在不同温度下适时采集数据的微量失重-时间数据采集记录仪,进行了以Ar气为载气,温度在220℃-250℃之间的乙酰丙酮铱质量传输过程的试验研究,发现质量传输速度不仅与载气、温度有关,而且与有效表面积有关.实验给出了了相关温度下质量传输速度的有关数据. 展开更多
关键词 金属β-二酮化合物 乙酰丙酮铱 质量传输速率
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