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采用有机源的金属层间膜的平坦化技术
1
作者
金井史幸
小池淳义
《微电子技术》
1994年第4期4-11,共8页
关键词
光刻
有机源
金属层间膜
平坦化
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职称材料
题名
采用有机源的金属层间膜的平坦化技术
1
作者
金井史幸
小池淳义
出处
《微电子技术》
1994年第4期4-11,共8页
关键词
光刻
有机源
金属层间膜
平坦化
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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作者
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1
采用有机源的金属层间膜的平坦化技术
金井史幸
小池淳义
《微电子技术》
1994
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