基于电铸技术制造精密金属微器件

鉴于电铸技术在实现精密金属微结构/器件方面所展现出的独特优越性,依托其为主要工艺手段,以制造微十字和微圆柱两种不同尺度的精细金属微器件为目标,开展试验研究,并借助扫描电镜对所得微器件的形貌质量进行评价。结果表明:基于电铸技术能制造出良好形貌且具备较高廓形精度的金属微器件。

金属Micro/Meso结构器件制造技术

具有特定功能或满足特定需要的复杂形状金属micro/meso结构器件的加工,是非硅基MEMS制造和微细加工领域的一项重要内容。论述了制造金属micro/meso结构器件的几种常用加工技术(精密机械加工技术、LIGA和LIGA-like技术、微细电火花加工技术、微细电解加工技术和选择性电沉积技术等)及其工艺进展,并分析了它们的优缺点。