金属摆片的慢走丝线切割加工研究

针对挠弹性材料加工而成的石英振梁加速度计的基本敏感元件金属摆片,其沟槽结构的去应力结构尺寸与几何公差精度要求高、制造难度大,开展了2种电极丝慢走丝电火花线切割金属摆片沟槽结构的试验研究,并对加工试件进行了检验和对比总结,认为采用0.1mm镀锌硬黄铜丝、以及合理的工艺参数加工金属摆片,试件沟槽结构轮廓规整清晰,加工尺寸及几何公差达到了设计指标要求。试验采用了慢走丝线切割加工金属摆片,以减小加工应力,控制加工变形。