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金属氧化物气敏传感器的研究现状及其发展趋势 被引量:7
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作者 章天金 周东祥 +2 位作者 付明 龚树萍 姜胜林 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期38-40,44,共4页
综述了国内外金属氧化物气敏传感器的生产和应用概况,分析了国内外目前的生产技术水平与现状,展望了金属氧化物气敏传感器的发展前景。
关键词 金属氧化物 传感器 器件 现状 发展
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金属氧化物气敏传感器 被引量:11
2
作者 刘湘军 谭湘倩 浣石 《广州大学学报(自然科学版)》 CAS 2007年第5期42-46,共5页
根据检测气体的种类、组成成分和工作原理对气体传感器进行了分类,并详细介绍了金属氧化物的气敏机理和纳米技术对材料气敏性能的影响;着重从物理方法和化学方法两个方面介绍金属氧化物纳米颗粒的合成;探讨了气体传感器的发展方向.
关键词 传感器 纳米颗粒 金属氧化物 材料
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金属氧化物气敏传感器(Ⅱ) 被引量:25
3
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第1期63-67,共5页
金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后,改变了它的电性质,从而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件.
关键词 传感器 金属氧化物 传感器
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金属氧化物气敏传感器(V) 被引量:7
4
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第4期93-99,共7页
本书系西安电子科技大学徐毓龙教授与亚琛工大(德)D.Kohl和G.Heiland两教授合作,执笔写成的Metal oxide Gas Sensors专著,经对方授意,由徐编译成的连续性中文稿.计六章:(1)导论;(2)金属氧化物点缺陷理论;(3)重要金属氧化物的性质;(4)金... 本书系西安电子科技大学徐毓龙教授与亚琛工大(德)D.Kohl和G.Heiland两教授合作,执笔写成的Metal oxide Gas Sensors专著,经对方授意,由徐编译成的连续性中文稿.计六章:(1)导论;(2)金属氧化物点缺陷理论;(3)重要金属氧化物的性质;(4)金属氧化物的表面性质和表面过程;(5)金属氧化物气敏传感器举例;(6)结论和展望,拟分6期刊完.今在该书出版之前,作先导刊出,以飨读者. 展开更多
关键词 金属氧化物 氧化物半导体 传感器
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金属氧化物气敏传感器(Ⅵ) 被引量:5
5
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1997年第1期79-82,共4页
6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感... 6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来。 展开更多
关键词 金属氧化物 传感器 半导体
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金属氧化物气敏传感器(Ⅳ) 被引量:1
6
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第3期72-78,共7页
绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面反应过程所引起的电导变化.本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程,作为深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础.
关键词 传感器 金属氧化物 传感器
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金属氧化物气敏传感器(Ⅲ)
7
作者 徐毓龙 G.Heiland 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期56-61,共6页
由于在太阳能电池、透明电极、催化剂,特别是气敏传感器领域的重要应用,金属氧化物材料日益受到重视.现已有不少文献资料介绍金属氧化物的单晶。
关键词 金属氧化物 传感器 传感器
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珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料的制备及其气敏性能研究
8
作者 马靖威 孙丽霞 +3 位作者 叶鑫玲 陈建瑶 廖丹葵 孙建华 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期136-141,146,共7页
以硝酸镧、硝酸铁为原料,尿素为沉淀剂,十六烷基三甲基溴化铵为分散剂,采用微波-超声辅助法和煅烧工艺,制备珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料用于三乙胺检测,考察不同镧铁摩尔比对材料结构和气敏性能的影响。结果表明:当原料中镧铁摩尔比为... 以硝酸镧、硝酸铁为原料,尿素为沉淀剂,十六烷基三甲基溴化铵为分散剂,采用微波-超声辅助法和煅烧工艺,制备珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料用于三乙胺检测,考察不同镧铁摩尔比对材料结构和气敏性能的影响。结果表明:当原料中镧铁摩尔比为2∶1时,获得的珊瑚状镧铁金属氧化物复合材料LFO1在工作温度为250℃时对100×10^(-6)g/mL三乙胺气体的灵敏度响应值达到505,检测限为2.8×10^(-6)g/mL,并具有良好的选择性、稳定性以及快速响应特性。这种优异的气敏性能归因于珊瑚状结构所具有的大比表面积为LFO1提供了大量活性位点,从而增强其对三乙胺气体的吸附和扩散能力。 展开更多
关键词 微波-超声辅助法 镧铁金属氧化物 三乙胺 性能 机理
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金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理 被引量:10
9
作者 徐毓龙 曹全喜 周晓华 《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第2期53-64,共12页
根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.
关键词 传感器 金属氧化物 半导体
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金属氧化物半导体气敏传感器稳定性研究进展 被引量:9
10
作者 周志刚 胡木林 李鄂胜 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期52-56,共5页
金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变... 金属氧化物半导体(MOS)气敏传感器的稳定性是气敏器件实用化进程中最具有挑战性的因素。影响器件稳定性的主要因素包括颗粒尺寸、颈部宽度、微裂纹、电极、湿度和温度的变化。颗粒的长大和颗粒间颈部尺寸的变化降低了耗尽层对总电阻变化的贡献;微裂纹的加剧使器件的电阻发生漂移,并且为水蒸气、氧气和待测气体扩散到敏感膜内部提供便捷的通道;电极的退化影响电极与气敏材料之间的接触电阻Rc;温度和湿度的改变使气体的吸附、脱附、反应活性和电子迁移率等都发生变化,因而器件的稳定性得不到保证。在机理分析的基础上,分别介绍了提高器件稳定性的方法。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物半导体 稳定性
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金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展 被引量:14
11
作者 蔡晔 葛忠华 陈银飞 《化工生产与技术》 CAS 1997年第2期29-34,共6页
综述了近期国内外金属氧化物半导体气教传感器的研究和开发进展;阐述了半导体气敏材料的气敏作用及机理;展望了今后半导体气敏传感器技术的发展趋向。
关键词 金属氧化物 传感器 半导体
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金属氧化物基丙酮气体传感器研究进展
12
作者 焦思琪 吕帅帅 +1 位作者 张骋 郑晓虹 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第11期1715-1727,共13页
丙酮是一种具有毒性、易挥发性以及易燃性的有机化工原料,会对人们的身体健康造成危害。在特定环境中,丙酮的含量可以通过气体传感器进行快速检测。详细介绍了金属氧化物基丙酮气体传感器的工作机理,并对以ZnO、WO_(3)、Co_(3)O_(4)、Sn... 丙酮是一种具有毒性、易挥发性以及易燃性的有机化工原料,会对人们的身体健康造成危害。在特定环境中,丙酮的含量可以通过气体传感器进行快速检测。详细介绍了金属氧化物基丙酮气体传感器的工作机理,并对以ZnO、WO_(3)、Co_(3)O_(4)、SnO_(2)四种金属氧化物为基质的半导体型气体传感器在丙酮检测方面的研究进展进行了综述,重点总结了其微观形貌、金属掺杂及复合对传感器选择性和灵敏度的影响,并对现阶段研究中可能存在的问题以及未来可能的研究方向进行了简单概述。这将有助于提高金属氧化物基丙酮气体传感器的性能,为环境监测和工业安全领域提供更可靠、更高效的丙酮检测手段。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物复合材料 丙酮 材料复合 性能
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基于金属氧化物半导体的瓦斯气体传感器研究现状及进展
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作者 陈享享 刘天豪 +5 位作者 欧阳云飞 黄世毅 张朝阳 罗盛葳 陈润萱 林修合 《金属矿山》 CAS 北大核心 2023年第11期34-44,共11页
瓦斯是我国煤矿以及相关金属矿山安全事故发生的主要诱因。甲烷是瓦斯的主要成分,利用高性能气体传感器对甲烷进行及时的监测预警,可有效保障矿山井下作业的安全。金属氧化物半导体型传感器相比电化学式、气相色谱式、接触燃烧式、光学... 瓦斯是我国煤矿以及相关金属矿山安全事故发生的主要诱因。甲烷是瓦斯的主要成分,利用高性能气体传感器对甲烷进行及时的监测预警,可有效保障矿山井下作业的安全。金属氧化物半导体型传感器相比电化学式、气相色谱式、接触燃烧式、光学式等气体传感器,具有成本低、体积小、稳定性好和响应快等优点,因此应用前景广泛。介绍了几种常见的金属氧化物半导体甲烷气敏材料,分析其用于甲烷气体传感的基本原理和优势,总结得出提升金属氧化物半导体材料气敏性能的3个主要方向为形貌调控、贵金属掺杂和构建异质结。目前需要进一步围绕表面电阻控制、化学敏化和电子敏化等3种气敏提升机制进行优化制备。总体而言,金属氧化物半导体气敏材料的研究为开发高性能瓦斯传感器奠定了基础,并将有助于矿山的安全和可持续生产。 展开更多
关键词 甲烷检测 金属氧化物半导体 传感器 材料 煤矿安全
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金属氧化物半导体SnO_2气敏传感器 被引量:7
14
作者 田敬民 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期50-55,共6页
SnO_2具有金红石型的晶体结构,禁带宽度约为 3.6 eV.由于Sn的电子亲合力不太强,晶态SnO_2都具有氧空位,故属于N型金属氧化物半导体.作为施主的氧空位。
关键词 金属氧化物 氧化 传感器 传感器
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掺杂金属氧化物半导体气敏传感器性能的研究进展 被引量:7
15
作者 曹冠龙 李铁 +4 位作者 潘国峰 杨学莉 王如 崔军蕊 回广泽 《光电技术应用》 2020年第6期15-22,27,共9页
金属氧化物半导体气敏传感器因其灵敏度高、制造成本低、测量方式简单易行等特点受到了广泛关注,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。在制备过程中,掺杂作为常用的改性工艺之一,得到了国内外学者的广泛关注。文中将从掺杂的角度... 金属氧化物半导体气敏传感器因其灵敏度高、制造成本低、测量方式简单易行等特点受到了广泛关注,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。在制备过程中,掺杂作为常用的改性工艺之一,得到了国内外学者的广泛关注。文中将从掺杂的角度综述制备金属氧化物半导体气敏传感器的研究进展,其中包括一元纯金属氧化物、纯金属掺杂、稀土元素掺杂、复合金属氧化物、金属氧化物掺杂等。并对现阶段存在的问题及发展趋势进行了概述。 展开更多
关键词 金属氧化物 半导体 掺杂 传感器
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碳纳米管及其掺杂氧化物半导体气敏传感器 被引量:12
16
作者 林毓韬 徐涛 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1159-1162,共4页
碳纳米管气敏传感器以其工作温度低和最低检出限较低等优点而备受关注,而碳纳米管掺杂氧化物半导体气敏传感器兼备了氧化物半导体气敏传感器和碳纳米管气敏传感器二者的优点,具有灵敏度较高、最低检出限低和工作温度低等特性。综述了这... 碳纳米管气敏传感器以其工作温度低和最低检出限较低等优点而备受关注,而碳纳米管掺杂氧化物半导体气敏传感器兼备了氧化物半导体气敏传感器和碳纳米管气敏传感器二者的优点,具有灵敏度较高、最低检出限低和工作温度低等特性。综述了这两类传感器的研究进展,介绍了其气敏机理,并对相应存在的问题及今后的发展趋势进行了概述。 展开更多
关键词 碳纳米管 氧化物半导体 掺杂 传感器
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新型氧化物半导体气敏传感器的研究进展 被引量:6
17
作者 林毓韬 徐涛 +1 位作者 程定峰 柳清菊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第23期45-48,58,共5页
空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展... 空气质量日益恶化问题引起了人们的重视。为了监控空气质量,研究者开发了很多种类的气敏传感器,其中氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低和信号测量手段简单等优点,成为了目前的主流产品。综述了该类型新型传感器的研究进展,介绍了其气敏机理、结构和制作方法,并概述了其存在的问题及今后的发展趋势。 展开更多
关键词 氧化物半导体 掺杂 传感器
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氧化物半导体气敏传感器的改性研究进展 被引量:11
18
作者 朱琴 张裕敏 +2 位作者 胡昌义 张瑾 柳清菊 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第17期17017-17021,共5页
氧化物半导体气敏传感器具有灵敏度高、制造成本低、信号测量手段简单、使用方便等优点,在有毒有害气体实时监测方面极具应用潜力。综述了新型氧化物半导体气敏感器改性的研究进展、存在的问题及发展趋势。
关键词 氧化物半导体 改性 传感器 研究进展
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金属氧化物气体传感器的非线性处理方法 被引量:3
19
作者 傅中君 周根元 陈鉴富 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1188-1192,共5页
金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性,难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基础上,提出了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性,然后根据其在双对数域中存在线性或近似线... 金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性,难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基础上,提出了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性,然后根据其在双对数域中存在线性或近似线性关系的原理通过三点标定进行非线性修正。验证实验证明该方法可以解决该类传感器的非线性问题,获得较高精度的测量结果。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物 特性 非线性处理 标定
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金属氧化物半导体气敏传感器的温度补偿技术(英文) 被引量:2
20
作者 何永勃 张文杰 董玉珊 《机床与液压》 北大核心 2018年第6期43-46,共4页
为了解决金属氧化物半导体气敏传感器易受外界环境温度影响而产生输出漂移的问题,提出了一种基于温度负反馈的补偿方法。通过构造适当的热敏电阻,设计了可调式开关稳压电路,为传感器提供加热电压,保证敏感材料较稳定的工作条件。通过TGS... 为了解决金属氧化物半导体气敏传感器易受外界环境温度影响而产生输出漂移的问题,提出了一种基于温度负反馈的补偿方法。通过构造适当的热敏电阻,设计了可调式开关稳压电路,为传感器提供加热电压,保证敏感材料较稳定的工作条件。通过TGS2610气敏传感器的对比实验,探测误差可由原来的-40%,+70%降低到±10。 展开更多
关键词 传感器 金属氧化物半导体 温度负反馈 温度补偿 电阻 可调开关稳压电路
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