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光泵气体THz激光器金属网栅输出耦合镜设计
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作者 郭超 孔维鹏 +2 位作者 王度 罗振飞 周逊 《太赫兹科学与电子信息学报》 2016年第2期167-170,共4页
为追求光泵气体THz激光器更高的输出功率和更好的光束质量,设计制作了金属网栅输出耦合镜,金属网栅输出耦合镜相比传统的小孔输出镜具有很多优势。详细描述了金属网栅输出耦合镜的结构,研究了金属网栅的理论模型。选择g/2a=76μm/20μm... 为追求光泵气体THz激光器更高的输出功率和更好的光束质量,设计制作了金属网栅输出耦合镜,金属网栅输出耦合镜相比传统的小孔输出镜具有很多优势。详细描述了金属网栅输出耦合镜的结构,研究了金属网栅的理论模型。选择g/2a=76μm/20μm和g/2a=76μm/10μm这2组参数制作了金属网栅输出耦合镜,利用远红外傅里叶光谱仪对其THz波段的透过率进行测试,根据计算仿真得到结论:随着金属网栅线宽2a的增大,金属网栅的THz辐射透过率增大。 展开更多
关键词 THz激光器 金属网栅输出耦合镜 光刻技术 远红外傅里叶光谱
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