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用MCs^+-SIMS技术研究Ti/Al_2O_3界面的组分分布
1
作者
陈新
王佑
《真空科学与技术》
CSCD
1995年第3期157-161,共5页
将MCs+-SIMS技术应用扩展到了金属/绝缘体(Ti/Al2O3)界面分析。实验表明,选用MCs+进行分析时,克服了界面效应,取得了较好的组分分布的分析结果。分析结果表明:随退火温度升高(室温,300,600,850℃),界面逐渐展宽,说明...
将MCs+-SIMS技术应用扩展到了金属/绝缘体(Ti/Al2O3)界面分析。实验表明,选用MCs+进行分析时,克服了界面效应,取得了较好的组分分布的分析结果。分析结果表明:随退火温度升高(室温,300,600,850℃),界面逐渐展宽,说明界面两边存在互扩散或发生了反应,且互扩散随退火温度升高而逐渐加强。随着退火温度升高,AlCs+的信号逐步进入Ti层相应区域中,并形成两层平台,表明Al逐渐扩散到Ti层中,并以两种新的形式(相)存在。另外随着退火温度升高,O逐渐扩散到Ti层中,使得850℃退火样品中O的信号明显提高。
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关键词
金属铯化物离子
二次
离子
质谱
界面效应
扩散
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职称材料
题名
用MCs^+-SIMS技术研究Ti/Al_2O_3界面的组分分布
1
作者
陈新
王佑
机构
中国科学院表面物理国家重点开放实验室
中国科学院半导体研究所
出处
《真空科学与技术》
CSCD
1995年第3期157-161,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
将MCs+-SIMS技术应用扩展到了金属/绝缘体(Ti/Al2O3)界面分析。实验表明,选用MCs+进行分析时,克服了界面效应,取得了较好的组分分布的分析结果。分析结果表明:随退火温度升高(室温,300,600,850℃),界面逐渐展宽,说明界面两边存在互扩散或发生了反应,且互扩散随退火温度升高而逐渐加强。随着退火温度升高,AlCs+的信号逐步进入Ti层相应区域中,并形成两层平台,表明Al逐渐扩散到Ti层中,并以两种新的形式(相)存在。另外随着退火温度升高,O逐渐扩散到Ti层中,使得850℃退火样品中O的信号明显提高。
关键词
金属铯化物离子
二次
离子
质谱
界面效应
扩散
Keywords
MCs^+-SIMS, Interface effect, Diffusion
分类号
O614.115 [理学—无机化学]
TN301 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用MCs^+-SIMS技术研究Ti/Al_2O_3界面的组分分布
陈新
王佑
《真空科学与技术》
CSCD
1995
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职称材料
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参考文献
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