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低温Au-In-Au金属键合及其在VCSELs制作中的应用 被引量:1
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作者 谢正生 吴惠桢 +2 位作者 劳燕锋 刘成 曹萌 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期264-268,共5页
研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜(DBR)的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VC... 研究了Au-In-Au低温金属键合技术,并把它应用到长波长垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构的制作中.利用该技术不仅有利于提升器件的热学性能,而且有利于提高VCSEL结构中分布Bragg反射腔镜(DBR)的反射率.实验结果表明,InP基外延半腔VCSEL结构成功地在200℃低温下金属键合到Si衬底上,键合强度高,键合质量达到了VCSEL器件工艺制作要求.对键合样品光学特性的分析表明,低温金属键合过程不影响量子阱有源区及DBR的光学性质,这对VCSEL器件结构的制作是有利的.这种低温金属键合技术,有望应用在许多半导体光电器件的制作中. 展开更多
关键词 低温金属键合 垂直腔面发射激光器 反射谱 光致荧光谱
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基于CT技术的金属键合引线三维测量专用夹具 被引量:1
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作者 荆晓冬 刘晨 +2 位作者 吴爱华 梁法国 范雅洁 《宇航计测技术》 CSCD 2018年第1期63-67,共5页
准确测量金属键合引线三维形貌,进而通过仿真方式获得键合引线S参数,是评估键合引线对器件级联工艺影响的重要手段。X射线电子计算机断层扫描技术是进行级联电路芯片中金属键合引线测量的有效工具,但是由于级联电路芯片中的键合引线材... 准确测量金属键合引线三维形貌,进而通过仿真方式获得键合引线S参数,是评估键合引线对器件级联工艺影响的重要手段。X射线电子计算机断层扫描技术是进行级联电路芯片中金属键合引线测量的有效工具,但是由于级联电路芯片中的键合引线材料、形状、尺寸的特殊性,需要研究专用的夹具提升测量准确度,本文通过结构优化、材料筛选,设计出一种更加稳定、准确度更高的新型测量夹具。 展开更多
关键词 金属键合引线 X-CT 测量夹具 S参数
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为什么是锌? 锌指蛋白质金属键合专一性的密度泛函活性理论研究(英文)
3
作者 赵东波 荣春英 +1 位作者 廉世勋 刘述斌 《湖南师范大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2013年第2期44-48,共5页
采用密度泛函活性理论研究了以锌指蛋白为基础建立的3种锌指模型,MS4-xNx(M为二价金属离子Mg,Ca,Sc,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn;S和N分别代表组氨酸和半胱氨酸残基;x=0,1,2),并探讨了其金属结合特异性.结果表明,当锌离子参与键合时,体... 采用密度泛函活性理论研究了以锌指蛋白为基础建立的3种锌指模型,MS4-xNx(M为二价金属离子Mg,Ca,Sc,Ti,V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn;S和N分别代表组氨酸和半胱氨酸残基;x=0,1,2),并探讨了其金属结合特异性.结果表明,当锌离子参与键合时,体系既表现出最大稳定性,同时又显示出最大反应活性.这种同时把稳定性和反应活性有机地结合于一体的特质清楚地说明了锌指蛋白质分子对金属锌离子键合的专一性. 展开更多
关键词 锌指 密度泛函活性理论 金属键合专一性
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制备电泵硅基混合激光器的选区金属键合方法
4
作者 李艳平 陶利 +1 位作者 冉广照 陈娓兮 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2016年第10期49-54,共6页
为了解决制约硅基光电集成技术发展的硅基激光器等硅基光源的制备问题,提出了一种新颖的选区金属键合方法,解决了传统金属键合方法中光吸收损耗严重的问题,并实现了直接键合方法中的高效率光耦合。该方法具有工艺简单,环境要求低,电、... 为了解决制约硅基光电集成技术发展的硅基激光器等硅基光源的制备问题,提出了一种新颖的选区金属键合方法,解决了传统金属键合方法中光吸收损耗严重的问题,并实现了直接键合方法中的高效率光耦合。该方法具有工艺简单,环境要求低,电、热和机械性能优越,键合温度低、时间短,能够有选择性地将很小的单元结构键合到硅基芯片上等优点。该方法也可用于键合光探测器和光放大器等其他分立器件。 展开更多
关键词 硅基激光 选区金属键合 Ⅲ-Ⅴ族材料 光互连
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超声楔焊金属键合物形成机理研究及模型构建 被引量:1
5
作者 王超梁 尤晓蕾 刘亚 《微型机与应用》 2017年第17期31-33,37,共4页
超声楔焊金属键合物的形成对半导体器件焊接质量至关重要,为分析金属键合界面形态演化及焊接参数对金属键合物形成的影响,研究了超声楔焊金属键合界面的形态,以及不同焊接参数对键合物形成的影响,分析了金属界面形态及键合物的形成机理... 超声楔焊金属键合物的形成对半导体器件焊接质量至关重要,为分析金属键合界面形态演化及焊接参数对金属键合物形成的影响,研究了超声楔焊金属键合界面的形态,以及不同焊接参数对键合物形成的影响,分析了金属界面形态及键合物的形成机理,并给出了理论模型。实验表明:界面形态和键合物的形成与焊接参数功率、时间和压力有关,该理论可用于超声楔焊质量优化。 展开更多
关键词 超声楔焊 金属键合 界面 焊接参数 优化
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金属键合技术及其在光电器件中的应用
6
作者 谢正生 吴惠桢 +2 位作者 劳燕锋 刘成 曹萌 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2007年第1期31-37,共7页
系统阐述了金属键合的发展概况、基本工艺和方法、表征技术及其在光电器件中的应用。金属键合制备光电器件的一般工艺流程分为三步:蒸镀金属薄膜、键合、腐蚀去除衬底,列举了常用的金属键合方法及其工艺条件;并着重论述了该技术在光电... 系统阐述了金属键合的发展概况、基本工艺和方法、表征技术及其在光电器件中的应用。金属键合制备光电器件的一般工艺流程分为三步:蒸镀金属薄膜、键合、腐蚀去除衬底,列举了常用的金属键合方法及其工艺条件;并着重论述了该技术在光电器件特别是垂直腔面发射激光器(VCSEL)器件结构制作中的应用。金属键合可以实现衬底倒扣和改善器件热学性能,而对器件原有的光学性质影响不大。 展开更多
关键词 光电器件 金属键合 工艺 表征 应用 垂直腔面发射激光器
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晶圆键合技术在LED应用中的研究进展 被引量:2
7
作者 罗超 张保国 +4 位作者 孙强 张启明 张礼 缪玉欣 韩丽楠 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第12期881-887,共7页
简要介绍了晶圆键合技术在发光二极管(LED)应用中的研究背景,分别论述了常用的黏合剂键合技术、金属键合技术和直接键合技术在高亮度垂直LED制备中的研究现状,包括它们的材料组成和作用、工艺步骤和参数以及优缺点。其中,黏合剂键合是... 简要介绍了晶圆键合技术在发光二极管(LED)应用中的研究背景,分别论述了常用的黏合剂键合技术、金属键合技术和直接键合技术在高亮度垂直LED制备中的研究现状,包括它们的材料组成和作用、工艺步骤和参数以及优缺点。其中,黏合剂键合是一种低温键合技术,且易于应用、成本低、引入应力小,但可靠性较差;金属键合技术能提供高热导、高电导的稳定键合界面,与后续工艺兼容性好,但键合温度高,引入应力大,易造成晶圆损伤;表面活化直接键合技术能实现室温键合,降低由于不同材料间热失配带来的负面影响,但键合良率有待提高。 展开更多
关键词 晶圆键 发光二极管(LED) 剂键 金属键合 直接键
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包覆焊接-拉拔法铜包铝线冶金结合机理的探讨 被引量:8
8
作者 戴雅康 王玉凯 +1 位作者 刘丕家 赵正树 《电线电缆》 2013年第6期1-6,共6页
探讨了包覆焊接-拉拔法铜包铝线在拉拔工序中实现"金属键合"和退火加热工序中实现"扩散结合"的机理。研究了界面上脆性氧化膜对金属键合的影响以及脆性化合物中间相对扩散结合的影响。提出了减少金属键合的临界减... 探讨了包覆焊接-拉拔法铜包铝线在拉拔工序中实现"金属键合"和退火加热工序中实现"扩散结合"的机理。研究了界面上脆性氧化膜对金属键合的影响以及脆性化合物中间相对扩散结合的影响。提出了减少金属键合的临界减面率和提高扩散结合强度和力学性能的工艺方法。 展开更多
关键词 铜包铝线 冶金结 金属键合 扩散结 拉拔临界减面率
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铜片-铜管的超声波焊接机理研究 被引量:13
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作者 杨圣文 汤勇 《焊管》 2005年第5期28-31,共4页
在铜片-铜管太阳能集热板超声波焊接试验基础上研究了其焊接机理,通过分析焊接接头的SEM图及从能量角度估算焊接过程的摩擦做功,研究了铜片-铜管超声波焊接的形成机理。分析认为超声波焊接是基于纯洁金属表面充分贴合后微层熔化基础上... 在铜片-铜管太阳能集热板超声波焊接试验基础上研究了其焊接机理,通过分析焊接接头的SEM图及从能量角度估算焊接过程的摩擦做功,研究了铜片-铜管超声波焊接的形成机理。分析认为超声波焊接是基于纯洁金属表面充分贴合后微层熔化基础上的金属键合、机械嵌合等作用的物理冶金过程。 展开更多
关键词 超声波焊接机理 金属键合 热量 温升
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LED封装技术的发展趋势 被引量:2
10
作者 陈辉 《中国照明》 2008年第8期94-94,96,共2页
LED封装是一个涉及到多学科,如光学、热学、机械、电学、力学、材料、半导体等研究的课题。在封装过程中,材料(散热基板、荧光粉、灌封胶)选择很重要。封装结构(如热学界面、光学界面)对LED光效和可靠性影响也很大.另外.应用环... LED封装是一个涉及到多学科,如光学、热学、机械、电学、力学、材料、半导体等研究的课题。在封装过程中,材料(散热基板、荧光粉、灌封胶)选择很重要。封装结构(如热学界面、光学界面)对LED光效和可靠性影响也很大.另外.应用环境对LED产品的影响更是值得关注。对于LED灯具而言,更是需要将光源、散热、供电、灯具及其应用环境等集成考虑。 展开更多
关键词 封装 应用环境 芯片 金属键合
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AlGaInP基薄膜发光二极管芯片生产工艺技术
11
作者 蔡文必 《闽西职业技术学院学报》 2013年第3期96-100,共5页
介绍公司研发和生产AlGaInP薄膜RS系列LED芯片产品产业化技术现状。通过采用多项先进工艺和质量控制技术,产业化生产的RS-LED外延片和芯片具有良好的性能及可靠性。其中RS-LED芯片产品通过采用全方位反射镜、衬底转移、金属键合和表面... 介绍公司研发和生产AlGaInP薄膜RS系列LED芯片产品产业化技术现状。通过采用多项先进工艺和质量控制技术,产业化生产的RS-LED外延片和芯片具有良好的性能及可靠性。其中RS-LED芯片产品通过采用全方位反射镜、衬底转移、金属键合和表面粗糙化等关键工艺技术,实现了良好的大电流特性和电流扩展性能,亮度指标大幅提升,红光RS-LED芯片最高亮度达550mcd,Au-To封装后器件光通量可达3.5lm。针对RS-LED芯片生产工艺的特点,探讨了产业化生产的关键工序、生产过程质量控制点以及质量控制关键参数等,提出了切实有效的生产过程质量控制方法,并付诸实践。 展开更多
关键词 薄膜发光二极管 镜面反射衬底 全方位反射镜 金属键合
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O-O bond formation mechanisms during the oxygen evolution reaction over synthetic molecular catalysts 被引量:4
12
作者 Xue-Peng Zhang Hong-Yan Wang +2 位作者 Haoquan Zheng Wei Zhang Rui Cao 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第8期1253-1268,共16页
Water oxidation is one of the most important reactions in natural and artificial energy conversion schemes.In nature,solar energy is converted to chemical energy via water oxidation at the oxygen-evolving center of ph... Water oxidation is one of the most important reactions in natural and artificial energy conversion schemes.In nature,solar energy is converted to chemical energy via water oxidation at the oxygen-evolving center of photosystem II to generate dioxygen,protons,and electrons.In artificial energy schemes,water oxidation is one of the half reactions of water splitting,which is an appealing strategy for energy conversion via photocatalytic,electrocatalytic,or photoelectrocatalytic processes.Because it is thermodynamically unfavorable and kinetically slow,water oxidation is the bottleneck for achieving large-scale water splitting.Thus,developing highly efficient water oxidation catalysts has attracted the interests of researchers in the past decades.The formation of O-O bonds is typically the rate-determining step of the water oxidation catalytic cycle.Therefore,better understanding this key step is critical for the rational design of more efficient catalysts.This review focuses on elucidating the evolution of metal-oxygen species during transition metal-catalyzed water oxidation,and more importantly,on discussing the feasible O-O bond formation mechanisms during the oxygen evolution reaction over synthetic molecular catalysts. 展开更多
关键词 Oxygen evolution reaction Water oxidation O-O bond formation Transition metal complex Molecular electrocatalysis Reaction mechanism
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Crystal Structure of[La(NO_3)_3(12-crown-4)-(H_2O)](12-crown-4)
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作者 毛江高 金钟声 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 1994年第4期281-284,共4页
The crystal structure of crown ether-hydrogen bonded complex,[La(NO3)3 (12-crown-4) ( H2O)] (12-crown-4) has been determined by X-ray method. The title complex C16H34LaN3O18 (Mr=695. 5) crystallized in orthorhombic ... The crystal structure of crown ether-hydrogen bonded complex,[La(NO3)3 (12-crown-4) ( H2O)] (12-crown-4) has been determined by X-ray method. The title complex C16H34LaN3O18 (Mr=695. 5) crystallized in orthorhombic Pnma with a=23. 495(8), b=13. 603(5),c=8. 474(3); V=2706(1); Z=4 ; Dc=1. 71 g/cm3; F(000)=1408, μ=17. 0 cm-1 (MOKα). The final R=0. 052 and Rw= 0. 054(unit weight) for 1367 observed reflections. The La( Ⅲ) ion is 11-coordinated by three nitrale anions, four oxygen atoms from a crown ligand and one O atom of a water molecule. The other crown molecule is hydrogen bonded wilh the coordinated water molecule. The imposed mirror plane in the structure made both crown ligands and one of nitrate groups severely disordered. 展开更多
关键词 crystal structure lanthanum nitrate crown ether complex hydrogen bonding
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Direct silylation reactions of inert C-H bonds via transition metal catalysis 被引量:4
14
作者 Yunhui Yang Congyang Wang 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第8期1266-1279,共14页
In the past thirty years,transition metal catalyzed silylation of inert C–H bonds has attracted intensive attention due to the importance and wide use of organosilicon compounds.In this review,the silylation reaction... In the past thirty years,transition metal catalyzed silylation of inert C–H bonds has attracted intensive attention due to the importance and wide use of organosilicon compounds.In this review,the silylation reactions of inert C–H bonds catalyzed by transition metal complexes of Ir,Rh,Ru,Pt,Pd,Ni,and Sc,and the strategies utilized to access the site-selective C–H silylation products have been summarized.Furthermore,the mechanisms of C–H silylation reactions have been discussed briefly. 展开更多
关键词 transition metal inert C-H bond CATALYSIS SILYLATION regioselectivity
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Dual-metal precursors for the universal growth of non-layered 2D transition metal chalcogenides with ordered cation vacancies 被引量:2
15
作者 Junyang Tan Zongteng Zhang +16 位作者 Shengfeng Zeng Shengnan Li Jingwei Wang Rongxu Zheng Fuchen Hou Yinping Wei Yujie Sun Rongjie Zhang Shilong Zhao Huiyu Nong Wenjun Chen Lin Gan Xiaolong Zou Yue Zhao Junhao Lin Bilu Liu Hui-Ming Cheng 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第16期1649-1658,M0004,共11页
Two-dimensional(2D)transition metal chalcogenides(TMCs)are promising for nanoelectronics and energy applications.Among them,the emerging non-layered TMCs are unique due to their unsaturated dangling bonds on the surfa... Two-dimensional(2D)transition metal chalcogenides(TMCs)are promising for nanoelectronics and energy applications.Among them,the emerging non-layered TMCs are unique due to their unsaturated dangling bonds on the surface and strong intralayer and interlayer bonding.However,the synthesis of non-layered 2D TMCs is challenging and this has made it difficult to study their structures and properties at thin thickness limit.Here,we develop a universal dual-metal precursors method to grow non-layered TMCs in which a mixture of a metal and its chloride serves as the metal source.Taking hexagonal Fe_(1-x)S as an example,the thickness of the Fe_(1-x)S flakes is down to 3 nm with a lateral size of over 100 μm.Importantly,we find ordered cation Fe vacancies in Fe_(1-x)S,which is distinct from layered TMCs like MoS_(2) where anion vacancies are commonly observed.Low-temperature transport measurements and theoretical calculations show that 2D Fe_(1-x)S is a stable semiconductor with a narrow bandgap of60 meV.In addition to Fe_(1-x)S,the method is universal in growing various non-layered 2D TMCs containing ordered cation vacancies,including Fe_(1-x)Se,Co_(1-x)S,Cr_(1-x)S,and V_(1-x)S.This work paves the way to grow and exploit properties of non-layered materials at 2D thickness limit. 展开更多
关键词 Non-layered two-dimensional materials Transition metal chalcogenides Dual-metal precursors Chemical vapor deposition Ordered cation vacancies
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Theoretical prediction on a special bridging metal–Xe–metal bond with remarkable stability in Re_2Cp_2(PF_3)_4Xe
16
作者 Nannan Liu Yihong Ding 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第6期760-764,共5页
The bridging Re-Xe-Re bond with a remarkable stability is firstly predicted. The average binding energies for Re-Xe bond in RezCpz(PF3)4Xe with bridging Xe are calculated to be higher than that in ReCp(CO)2Xe, ReC... The bridging Re-Xe-Re bond with a remarkable stability is firstly predicted. The average binding energies for Re-Xe bond in RezCpz(PF3)4Xe with bridging Xe are calculated to be higher than that in ReCp(CO)2Xe, ReCp(CO)(PF3)Xe and ReCp(PF3)2Xe with terminal Xe. The interaction between two ReCp(PF3)2 fragments provides an additional contribution for the stability of bridging Re-Xe-Re bond. Besides, the RezCp2(PF3)4Xe isomers with bridging Xe are also stable in energy than the isomers with bridging PF3. As the terminal Re-Xe bond was found to exist in experiments, the more stable bridging Re-Xe-Re bond might be existent under similar or even milder condition. 展开更多
关键词 noble gas bridging bond DONOR-ACCEPTOR XENON ORGANOMETALLIC
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C–H bond activation in the total syntheses of natural products 被引量:2
17
作者 Pengyu Tao Yanxing Jia 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第9期1109-1125,共17页
The transition metal-mediated C–H bond activation has emerged as a powerful and ideal method for the total syntheses of natural products and pharmaceuticals, and has had a significant impact on synthetic planning and... The transition metal-mediated C–H bond activation has emerged as a powerful and ideal method for the total syntheses of natural products and pharmaceuticals, and has had a significant impact on synthetic planning and strategy in complex natural products.In this review, we describe selected recent examples of the transition metal-mediated C–H bond activation strategies for the rapid syntheses of natural products. 展开更多
关键词 C-H activation transition metal natural product total synthesis
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Organothorium complexes containing terminal metal-ligand multiple bonds
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作者 ZI GuoFu 《Science China Chemistry》 SCIE EI CAS 2014年第8期1064-1072,共9页
Organoactinide complexes containing terminal metal-ligand multiple bonds have received widespread attention over the past three decades. In the last few years, significant progress has been made in the synthesis and c... Organoactinide complexes containing terminal metal-ligand multiple bonds have received widespread attention over the past three decades. In the last few years, significant progress has been made in the synthesis and characterization of the imido, oxo, sulfido, and carbene-containing complexes of thorium. Such thorium complexes are of interest because of their unique structural properties, their potential application in novel group transfer reactions and catalysis, as well as their ability to engage the 5f orbitals in metal-ligand bonding. This short review summarizes the synthesis and reactivity of these thorium complexes. 展开更多
关键词 thorium complex multiple bond synthesis REACTIVITY
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