全色波段硅双结型色敏器件的研制

通过理论分析得出硅双结型色敏器件中掺杂浓度和两个结的结深是影响光谱响应范围的主要因素。通过选择不同的器件结构和工艺条件 ,得到了色敏器件对蓝紫光的响应 ,完成了全色波段硅双结型色敏器件的研制。