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多层堆叠中晶圆级金金键合的可靠性提升 被引量:2
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作者 商庆杰 张丹青 +1 位作者 宋洁晶 杨志 《电子工艺技术》 2024年第2期19-21,28,共4页
基于电学互联的贯穿硅通孔技术和高精度金金圆片键合技术,开发了一套可应用于制备三维集成射频(RF)收发系统的工艺,并利用反应离子刻蚀机(RIE)中氧气加六氟化硫的键合前处理技术解决了多层堆叠中键合强度较弱的问题。经过扫描电镜(SEM)... 基于电学互联的贯穿硅通孔技术和高精度金金圆片键合技术,开发了一套可应用于制备三维集成射频(RF)收发系统的工艺,并利用反应离子刻蚀机(RIE)中氧气加六氟化硫的键合前处理技术解决了多层堆叠中键合强度较弱的问题。经过扫描电镜(SEM)观察和分析,键合强度弱确认为芯片贴装过程中晶圆表面沾污所致。传统的湿法前处理有一定的局限性,氧气等离子体方法去污能力较弱,均无法用于去除遗留的沾污。利用反应离子刻蚀机氧气加六氟化硫的前处理方式进行键合前处理,不仅增强了去污能力,而且将旧金表面低活性的金层去除,露出干净、活性高的新金表面,有效提升了金金键合的强度,为多层金金键合提供了一种有效的键合前处理方法。 展开更多
关键词 金金键合 多层堆叠 反应离子刻蚀机 MEMS
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有限元仿真优化布局解决金金键合局域化问题
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作者 张丹青 韩易 +2 位作者 商庆杰 宋洁晶 杨志 《电子与封装》 2024年第4期8-13,共6页
晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域... 晶圆金金键合技术在集成电路封装、微机电系统(MEMS)器件制造、CMOS图像传感器制作及LED制造等行业中被广泛应用。在MEMS环形器的制造过程中,由于金金键合的压力分布不均匀,导致其键合有效区域仅限于键合区域的边缘位置,即存在键合局域化问题,因此器件的整体可靠性较差。结合有限元力学仿真和金金键合实验,优化了键合点的分布,确保键合压力分布更加均匀。将有效键合面积从20%提升到77%,单颗芯片的平均剪切力从41.5 N增大到80.3 N,有效提升了MEMS环形器的可靠性。 展开更多
关键词 封装技术 金金键合 MEMS环形器 有限元仿真
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一种基于点压技术的新型晶圆键合方法
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作者 许维 王盛凯 +3 位作者 徐杨 王英辉 陈大鹏 刘洪刚 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期125-128,134,共4页
金金热压键合法在半导体制造领域中应用广泛,为了进一步改进该键合方法,首次提出了一种基于点压技术的新型晶圆键合方法,并研究了工艺温度、压强以及时间对点压键合法单点键合面积的影响.通过超声扫描显微镜图像,着重比较了传统金金热... 金金热压键合法在半导体制造领域中应用广泛,为了进一步改进该键合方法,首次提出了一种基于点压技术的新型晶圆键合方法,并研究了工艺温度、压强以及时间对点压键合法单点键合面积的影响.通过超声扫描显微镜图像,着重比较了传统金金热压键合法与点压键合法的键合面积比.对点压键合法的可选择键合性进行了讨论.结果表明,点压键合法工艺步骤简单,工艺稳定性较好,且具有一定的可选择键合特性,在半导体制造领域中将具有广泛的应用前景. 展开更多
关键词 晶圆 热压 金金键合 点压
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Hydrogen auto-transfer under aerobic oxidative conditions: Efficient synthesis of saturated ketones by aerobic C-C cross-coupling of primary and secondary alcohols catalyzed by a Au_6Pd/resin catalyst 被引量:1
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作者 周茂祥 张磊磊 +4 位作者 Jeffrey T. MILLER 杨小峰 刘晓艳 王爱琴 张涛 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第10期1764-1770,共7页
Au and Au-containing bimetallic nanoparticles are promising catalysts for the green synthesis of fine chemicals. Here, we used a Au6Pd/resin catalyst for the aerobic C-C cross-coupling of primary and secondary alcohol... Au and Au-containing bimetallic nanoparticles are promising catalysts for the green synthesis of fine chemicals. Here, we used a Au6Pd/resin catalyst for the aerobic C-C cross-coupling of primary and secondary alcohols to produce higher ketones under mild conditions. This is of importance to the construction of a C-C bond. Various substrates were used in the reaction system, and moderate to good yields were obtained. The catalysts can be reused at least five times without decrease of yield. The control experiment and XAFS characterization results showed that hydrogen au- to-transfer occurred on metallic Pd sites even under oxidative conditions. On alloying with Au, the Pd sites became resistant to oxidation and readily abstracted the β-H of the alcohols and transferred the hydride to the C=C bond in the reaction intermediate to give the saturated product. 展开更多
关键词 Au-Pd alloysC-C coupling reactionOxidation of alcoholsHydrogen auto-transferOxidation-resistant
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