金铬薄膜的飞秒激光烧蚀加工

着重从实验角度对飞秒激光烧蚀金属薄膜所得直线微槽的形状尺寸与实验加工参数之间的控制规律进行了研究。对使用频率为1 kHz、波长为800 nm、脉宽为30 fs的超短脉冲激光在150 nm厚的金铬薄膜上直线扫描所得微结构进行观察,发现:改变聚焦物镜的数值孔径(NA)、激光功率、扫描速率以及重复扫描次数等实验参数,均会对加工所得微槽宽度造成影响。得到了减小聚焦物镜数值孔径、提高激光功率、降低激光扫描速率、增加扫描次数均能提高直线微槽的宽度的参数控制规律。此外,还对后向激光烧蚀方法进行了实验研究,并与前向刻蚀的实验结果进行比较,验证了前向加工方法在加工质量和加工效率方面均优于后向加工,并分析其原因。