硅热电堆探测器件及制作

针对实现红外技术在夜间和一些死角方面应用的视觉辅助系统,把微机械加工技术和制作微细红外吸收膜的工艺应用到CMOS技术中,使热电堆实现了高性能化。利用运用PSG替代层的分离法制作用低压真空蒸镀法成膜的金黑膜,使吸收膜实现了微细化。制作出三种160μm见方的原型传感器,它们在大气中的灵敏度分别达到300 V/W、140 V/W、60V/W,响应时间常数达 2 ms、0.46ms、0.27 ms。还利用原型传感器制成了 64 ×32像元焦平面列阵传感器(FPA)。