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Au-Si-Be液态金属离子源发展综述 被引量:1
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作者 康文运 应根裕 汪健如 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第1期26-32,共7页
对Au-Si-Be液态金属离子源的发展进行了较详细的介绍,包括源的结构、发射特性,以及不同的合金配比、源工作温度、环境气体、系统真空度对源发射稳定性的影响。
关键词 液态 离子源 半导体 离子流 金-硅-铍
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