聚焦离子束在光纤探针制备技术中的应用

本文概述了利用聚焦离子束制备用于近场光学显微镜光纤探针的方法,讨论了探针的锥型刻蚀、孔径控制和特殊结构加工等;论述了聚焦离子束的工作原理和在光纤探针高精度加工方面的优势。利用此技术制备的光纤探针的锥型和针尖孔径精确可控,并具有高光洁度,高通光效率等特点。

近场显微成像法识别高功率激光镜片薄膜内部缺陷

采用近场显微成像法测量了高功率激光镜片薄膜表面裂纹和内部节瘤缺陷,并分析了它们的形成机制。100nm孔径的圆锥形针尖辐射的倏逝波与薄膜中预埋的缺陷相互作用,将倏逝波转化为辐射波后,由物镜收集并在远场逐点成像,同步地获得薄膜表面的原子力显微镜(AFM)图像和扫描近场光学显微镜(SNOM)图像,以便直观地识别缺陷产生的物理机制。结果表明:在倏逝波的有效作用区域内,薄膜表面裂纹与内部节瘤可以同时精确地被识别。通过对比SNOM与AFM结果,发现基底表面裂纹在镀膜过程中积累了残余应力,这导致薄膜的表面呈层状断裂,其单条最小裂纹横向剖面尺寸为165nm,超过了传统远场检测的实验检测精度;此外,SNOM图中的亮斑表明,薄膜的内部有高于基底折射率的节瘤存在。