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电压对原子力显微镜探针振动的影响
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作者 邓亮 吴磊 +1 位作者 陈鹏 余丙军 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2022年第6期681-685,690,共6页
在原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的轻敲模式中,针尖-样品相互作用力对探针振动产生干扰,降低测量精度。为探究电压对针尖-样品作用力的影响,通过实验测定不同电压下探针匀速远离硅片表面时的悬臂受力、振幅及相位随探针位... 在原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的轻敲模式中,针尖-样品相互作用力对探针振动产生干扰,降低测量精度。为探究电压对针尖-样品作用力的影响,通过实验测定不同电压下探针匀速远离硅片表面时的悬臂受力、振幅及相位随探针位移的变化,并利用玻璃和银样品重复同样的实验步骤以探究样品导电性对实验结果的影响。结果表明,探针所带电压增大使得探针受到的静电力增大,导致针尖-样品相互作用力和能量耗散增大,阻碍了探针振动。研究揭示了电压与样品导电性对针尖-样品相互作用力的影响规律与影响机制。 展开更多
关键词 原子显微镜 针尖-样品相互作用力 电压 静电 能量耗散
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