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Ti/Ag及Ag薄膜的应力状态及其对摩擦学性能的影响 被引量：4
1
作者 孙嘉奕 翁立军 +1 位作者 孙晓军 于翔 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第1期29-31,45,共4页
制备了具有不同应力状态的Ti/Ag双层薄膜及Ag单层膜。考察了两类薄膜的内应力状态及其对薄膜摩擦学性能的影响。试验结果表明 :薄膜的应力状态对其摩擦学性能可产生明显影响。Ti/Ag双层薄膜的应力变化及其对摩擦学性能的影响比单层膜更... 制备了具有不同应力状态的Ti/Ag双层薄膜及Ag单层膜。考察了两类薄膜的内应力状态及其对薄膜摩擦学性能的影响。试验结果表明 :薄膜的应力状态对其摩擦学性能可产生明显影响。Ti/Ag双层薄膜的应力变化及其对摩擦学性能的影响比单层膜更为复杂。 展开更多
关键词 薄膜 应力 摩擦学性能 钛/银多层膜 PVD
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