NEPTUNE 10 MeV电子直线加速器钛溅射离子泵的故障及其检修

一、结构原理:钛溅射离子泵是超高真空器件。在结构上它是与电子枪、加速管、偏转盒、靶室密封成一个整体的(见图1)。整个系统处于超高真空状态,而真空是由钛溅射离子泵(型号 PIP1146)提供的,它是电子直线加速器重要部件之一。它的结构是由一个圆柱形阳极,一对钛阴极板(在阳极的两侧各一个),

加速器钛泵的原理和维护

加速器的电子枪、加速管和速调管等器件要求在高真空条件下工作。本文介绍加速中的钛溅射离子泵的原理、结构和维护方法。

Varian clinac 2300EX加速器真空度降低的检修

故障现象：Varian clinac 2300EX直线加速器,使用1年后,加速管真空度开始逐步降低,钛溅射离子泵的电流指示值由10μA增加到今年2月的50μA左右.虽未影响机器工作,但已成为严重隐患,如果真空出现故障,整台机器就不能工作,必须及时加以检修.

Varianclinac23EX加速器真空度降低的检修

故障现象：我院2005年购买的varianclinac23EX直线加速器。从1年开始加速管真空度逐步降低，钛溅射离子泵的电流指示值由10uA增加到今年2月的50uA左右。虽未影响机器工作，但已成为严重隐患，如果真空出现故障，整台机器就不能工作，必须及时加以检修。