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快速退火工艺对钛酸铋薄膜电学性能影响的研究
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作者 苏学军 李岩 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 2002年第1期35-37,共3页
采用快速退火工艺处理的钛酸铋铁电薄膜 ,矫顽场Ec=9kV/cm ,在室温下剩余极化强度Pr=8μC/cm2 ;退火提高了钛酸铋薄膜的介电常数和材料的绝缘性 ,0 .1MHz附近薄膜材料的介电损耗tgδ<0 .
关键词 极化强度 C-V特性 矫顽场 快速退火 介电 钛酸铋铁电薄膜
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