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钛酸锶钡纳米晶及其薄膜的Sol-Gel法制备和表征
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作者 郭惠芬 《内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)》 CAS 2003年第3期242-247,共6页
用Sol-Gel法制备了钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)纳米晶,用FT-IR、XRD、TG-DTA、AFM等表征技术研究了其晶化过程.结果表明,溶胶经冰乙酸适度稀释后稳定性提高,易于制备高质量的薄膜;薄膜的晶化温度为750℃.在单晶硅基底上制备了粒径分布均... 用Sol-Gel法制备了钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)纳米晶,用FT-IR、XRD、TG-DTA、AFM等表征技术研究了其晶化过程.结果表明,溶胶经冰乙酸适度稀释后稳定性提高,易于制备高质量的薄膜;薄膜的晶化温度为750℃.在单晶硅基底上制备了粒径分布均匀、平均晶粒约为50nm的钛酸锶钡(Ba0.8Sr0.2TiO3)薄膜. 展开更多
关键词 钛酸锶钡纳米晶 钛酸锶薄膜 Sol—Gel法 制备方法 结构表征 溶胶-凝胶法 热分解 化过程
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