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退火方式对镍钛钪合金薄膜微结构的影响
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作者 金永军 赵春旺 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2020年第1期57-63,共7页
选用具有氮化硅镀层的硅片做为基片,采用磁控溅射方法制备了近等原子比镍钛钪合金薄膜,分别采用快速热处理和传统热处理对合金薄膜进行了退火,使用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的微结构和表面形貌。结果显示薄膜呈现柱状生长... 选用具有氮化硅镀层的硅片做为基片,采用磁控溅射方法制备了近等原子比镍钛钪合金薄膜,分别采用快速热处理和传统热处理对合金薄膜进行了退火,使用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的微结构和表面形貌。结果显示薄膜呈现柱状生长,不同的退火方式影响薄膜的析出相,快速退火处理后,随着钪含量的增加,B2奥氏体相占优并伴随Ni4Ti3析出相;而传统热处理过程还会析出Ti2Ni相。 展开更多
关键词 钪合金薄膜 析出相 微结构 退火
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富钛的镍钛形状记忆薄膜的相变行为及影响因素 被引量:1
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作者 郭亮 漆璇 +1 位作者 江伯鸿 戚震中 《包钢科技》 2000年第1期62-65,共4页
本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相交行为和性能。 在一定化学成分下,晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的相变温度一般较高,马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。 富... 本文研究射频磁控溅射镍钛形状记忆薄膜相交行为和性能。 在一定化学成分下,晶化退火温度对富钛薄膜的相变过程及相变温度有很大影响。富钛薄膜的相变温度一般较高,马氏体相变温度在室温之上。在富钛薄膜中有可能出现双马氏体峰。 富钛薄膜在循环或者时效时。相交特性和结构显示了良好的稳定性。 研究结果表明,富钛的镍钛薄膜适当控制成份和热处理条件可具有适当的相变温度和较小滞后并且具有良好的形状记忆效应;可以得到只发生R相变及道相变的富钛薄膜、其相变温度滞后只有2℃左右,很适合用来制作徽机械驱动器。 展开更多
关键词 合金薄膜 形状记忆效应 晶化 马氏体相变
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离子束溅射沉积Ti-Ni薄膜及其电化学性能的研究 被引量:2
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作者 崔岩 牟宗信 +1 位作者 邹学平 李国卿 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2002年第2期122-124,共3页
利用离子束溅射沉积的方法在不同基片温度条件下制备了不同成分的Ti Ni贮氢薄膜 ,研究了其电化学贮氢性能。结果表明 :用离子束溅射沉积制备的Ti Ni薄膜的结构为非晶态 ,薄膜对基片的附着力较强 ,在冲放电循环 5 0次后仍为非晶态 ;在基... 利用离子束溅射沉积的方法在不同基片温度条件下制备了不同成分的Ti Ni贮氢薄膜 ,研究了其电化学贮氢性能。结果表明 :用离子束溅射沉积制备的Ti Ni薄膜的结构为非晶态 ,薄膜对基片的附着力较强 ,在冲放电循环 5 0次后仍为非晶态 ;在基片温度为 35 0℃时制备的薄膜的结构为晶态 ,在多次放电循环后呈现非晶化趋势 ;Ti Ni薄膜具有较高的电化学活性 ,晶化薄膜比非晶态薄膜的最大放电容量高 。 展开更多
关键词 贮氢薄膜 放电容量 钛镍薄膜 碱性蓄电池 离子束溅射沉积 Ti-Ni薄膜 电化学性能
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TiNi薄膜的形状记忆行为
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作者 贺志荣 《钛工业进展》 CAS 1997年第2期21-22,共2页
关键词 钛镍薄膜 形状记忆行为
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NiTi形状记忆合金薄膜中的相变 被引量:2
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作者 谢致薇 王国庆 蒙继龙 《广东工业大学学报》 CAS 2001年第3期57-62,共6页
NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行为与记忆效应 本文综述了薄膜制备条件、化学成份、热处理工艺及循环条件对这种薄膜的组织结构 ,尤其是... NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行为与记忆效应 本文综述了薄膜制备条件、化学成份、热处理工艺及循环条件对这种薄膜的组织结构 ,尤其是主体相变行为和脱溶分解行为的影响 .表明上述因素的影响相当复杂 。 展开更多
关键词 形状记忆合金薄膜 NiTi薄膜 马氏体相变 脱溶分解 薄膜 形状记忆效应
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预应变对TiNi薄膜相变温度及热滞的影响 被引量:1
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作者 刘晓鹏 曹名洲 +1 位作者 孟长功 杨大智 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第5期549-552,共4页
用电阻法研究了预应变对Ti51Ni49(原子分数)薄膜相变温度及相变热滞后的影响,结果表明;TiNi薄膜马氏体态预变形后,第一次逆相变开始温度Adg随预应变量的增大而升高,而第一次马氏体相变温度Ms和第二次逆相变开始温度As的变化与预应变量(... 用电阻法研究了预应变对Ti51Ni49(原子分数)薄膜相变温度及相变热滞后的影响,结果表明;TiNi薄膜马氏体态预变形后,第一次逆相变开始温度Adg随预应变量的增大而升高,而第一次马氏体相变温度Ms和第二次逆相变开始温度As的变化与预应变量(εd)相关:当εd<5%时,Ms和As几乎保持预变形前的温度值,而当εd>5%时,Ms和As随εd的增大而升高;预应变后TiNi薄膜的相变热滞(Adg-Ms)也随εd的增加而增大,但当εd>5%时,其值开始减小预变形引起Ti51Ni49薄膜的相变温度和热滞的变化与弹性应变能的变化及位错有关. 展开更多
关键词 TiNi薄膜 预应变 相变温度 相变滞后 电阻法 热滞后 形状记忆合金薄膜
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电化学测试系统及Ti-Ni贮氢薄膜的性能
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作者 崔 岩 牟宗信 +3 位作者 邹学平 李国卿 吕勇刚 任厚民 《辽宁大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第2期112-114,共3页
设计了三电极电化学测试系统,采用恒电流法进行充放电循环,过程全部由程序控制.本文介绍了贮氢材料的充放电实验装置原理图及相应的程序控制框图,并采用此装置研究了Ti-Ni薄膜的电化学性能.
关键词 电化学测试系统 Ti-Ni贮氢薄膜 贮氢材料 放电容量 循环性能 电化学性能 -贮氢薄膜 氢电池
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镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂
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《科技开发动态》 2004年第3期55-55,共1页
关键词 合金薄膜 多元化学刻蚀剂 配方 刻蚀速率
原文传递
热处理和热循环对Ni-49.12%Ti溅射膜相变点和组织结构的影响 被引量:13
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作者 邱平善 李丹 +2 位作者 郭立伟 黄渭馨 王桂松 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期553-557,共5页
探讨了热处理和热循环对空心阴极离子镀 (HCD)法在玻璃基板上制备的Ni 4 9.12 %Ti形状记忆合金薄膜的影响。结果表明 ,由于镀膜时基板温度较高 ,所得的膜已部分晶化 ,其组织为母相组织。经热处理后 ,其组织发生一系列变化。随加热温度... 探讨了热处理和热循环对空心阴极离子镀 (HCD)法在玻璃基板上制备的Ni 4 9.12 %Ti形状记忆合金薄膜的影响。结果表明 ,由于镀膜时基板温度较高 ,所得的膜已部分晶化 ,其组织为母相组织。经热处理后 ,其组织发生一系列变化。随加热温度的升高和保温时间的延长 ,其晶化程度变好 ,晶粒变粗大 ,并伴随产生R相、马氏体相和Ni3Ti,同时其相变温度也随之有所提高 ,但是当加热温度过高和保温时间过长 ,样品中各相的量减少 ,其衍射强度降低。薄膜经热循环后 ,其相变温度也发生变化。随着热循环次数增加 ,As 和Af 点逐渐升高 ,Ms 点有所降低 ,tR 基本保持不变。还发现薄膜经热处理后 。 展开更多
关键词 形状记忆合金 薄膜 热处理 热循环 相变温度 组织
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Microstructures of Ti-48%Ni shape memory melt-spun ribbons 被引量:3
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作者 邢鸿雁 H.Y.KIM S.MIYAZAKI 《中国有色金属学会会刊:英文版》 CSCD 2006年第B01期92-95,共4页
The effect of wheel speed on microstructures of Ti-48%Ni (mole fraction) melt-spun ribbons was investigated by X-ray diffractometry, scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. When the wheel sp... The effect of wheel speed on microstructures of Ti-48%Ni (mole fraction) melt-spun ribbons was investigated by X-ray diffractometry, scanning electron microscopy and transmission electron microscopy. When the wheel speed is 26 and 42 m/s, the as-spun ribbons are completely crystallized to the Ti-Ni B2 phase. The Ti-rich plate precipitates lying on {100} planes are observed in the as-spun ribbon fabricated with a wheel speed of 26 m/s. The spherical Ti2Ni precipitates are observed at grain boundaries in the as-spun ribbons fabricated with a wheel speed of 42 m/s. Amorphous and B2 phases coexist in the as-spun ribbon fabricated with a wheel speed of 52 m/s. The uniformity of grain size in heat treated ribbons decreases with increasing wheel speed. 展开更多
关键词 形状记忆合金 -薄膜 显微结构 快淬
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采用形状记忆合金/硅双层驱动膜结构的微泵
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《科技开发动态》 2004年第3期54-54,共1页
关键词 形状记忆合金 薄膜 薄膜 双层驱动膜结构 微泵
原文传递
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