Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究

介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子层沉积氧化铝薄膜的质量和铜电极的保护性能起着决定性作用;以臭氧(O3)作为氧化剂,氧化铝薄膜极易脱落,与铜表面的结合力很差;以氧等离子体(O-)作为氧化剂,铜表面被氧化形成了氧化铜(CuOx)层;而以水蒸气(H2O)作为氧化剂,在低温100℃下,得到的Al2O3薄膜致密,无明显缺陷,且与铜金属层的结合力较优,对铜抗氧化保护效果良好;当沉积温度高于200℃时,原子层沉积氧化铝薄膜的缺陷明显增多;等离子增强ALD工艺中,当载气为Ar时,所得氧化铝膜厚度不均匀,铜电极发生强烈氧化。

对苯二酚停炉保护剂最佳保护条件优选

为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触角测试、交流阻抗谱、扫描电镜等评价钝化膜的性能。结果表明:当对苯二酚浓度为50 mg/L,温度为280℃,恒温时间为4 h,p H值为11时,对苯二酚在20碳钢试片表面的成膜效果最佳,钝化保护效果最好,其中恒温温度对气液相中成膜效果影响最大。

Fe系E(pE)-pH图及随时间变化规律

利用Fe-H2O二元平衡图的原理,测定铁在不同环境中长时间的腐蚀规律,通过研究Fe-H2O系平衡图在水,人造海水、盐酸、氢氧化钙中长时间观测溶液的氧化还原电位和pH值在腐蚀区和钝化区之间的变化,探索铸铁在不同溶液中防锈的可能途径。

不锈钢工艺管线外表面防腐蚀保护

从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的防腐蚀措施,一直是各国研究的对象。为了避免高温操作条件下,氯离子对不锈钢管线表面造成腐蚀,本工程项目中对其选用了喷涂覆盖层的防腐措施。

YBCO 膜上形成类金刚石膜研究

为防止高Ｔｃ超导探测器的超导电性退化或失超，用Ｃ＋注入、ＸｅＣｌ准分子激光辐照形成类金刚石（ＤＬＣ）保护膜．该膜结合紧密，克服了ＤＬＣ／ＹＢＣＯ两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾．对ＤＬＣ膜的Ｒａｍａｎ谱所表征的Ｃ内部结构进行了分析，阐述了石墨态Ｃ转化为ＤＬＣ结构的机制，提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型．