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Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究
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作者 乌李瑛 瞿敏妮 +3 位作者 付学成 田苗 马玲 程秀兰 《真空》 CAS 2023年第1期30-35,共6页
介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子... 介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子层沉积氧化铝薄膜的质量和铜电极的保护性能起着决定性作用;以臭氧(O3)作为氧化剂,氧化铝薄膜极易脱落,与铜表面的结合力很差;以氧等离子体(O-)作为氧化剂,铜表面被氧化形成了氧化铜(CuOx)层;而以水蒸气(H2O)作为氧化剂,在低温100℃下,得到的Al2O3薄膜致密,无明显缺陷,且与铜金属层的结合力较优,对铜抗氧化保护效果良好;当沉积温度高于200℃时,原子层沉积氧化铝薄膜的缺陷明显增多;等离子增强ALD工艺中,当载气为Ar时,所得氧化铝膜厚度不均匀,铜电极发生强烈氧化。 展开更多
关键词 原子层沉积 铜电极 钝化保护
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对苯二酚停炉保护剂最佳保护条件优选 被引量:3
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作者 朱浩 李倩 +1 位作者 于萍 罗运柏 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期51-53,8,共3页
为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触... 为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触角测试、交流阻抗谱、扫描电镜等评价钝化膜的性能。结果表明:当对苯二酚浓度为50 mg/L,温度为280℃,恒温时间为4 h,p H值为11时,对苯二酚在20碳钢试片表面的成膜效果最佳,钝化保护效果最好,其中恒温温度对气液相中成膜效果影响最大。 展开更多
关键词 对苯二酚 停炉保护 成膜 钝化保护 优选
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Fe系E(pE)-pH图及随时间变化规律 被引量:5
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作者 边莉 金宗哲 《全面腐蚀控制》 2008年第3期25-28,共4页
利用Fe-H2O二元平衡图的原理,测定铁在不同环境中长时间的腐蚀规律,通过研究Fe-H2O系平衡图在水,人造海水、盐酸、氢氧化钙中长时间观测溶液的氧化还原电位和pH值在腐蚀区和钝化区之间的变化,探索铸铁在不同溶液中防锈的可能途径。
关键词 学腐蚀 Fe系E(pE)-pH图 还原电位 氢氧 钝化保护
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不锈钢工艺管线外表面防腐蚀保护 被引量:6
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作者 杨媚媚 刘忠斌 吕建伟 《全面腐蚀控制》 2010年第3期29-31,共3页
从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的... 从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的防腐蚀措施,一直是各国研究的对象。为了避免高温操作条件下,氯离子对不锈钢管线表面造成腐蚀,本工程项目中对其选用了喷涂覆盖层的防腐措施。 展开更多
关键词 不锈钢 表面处理 防腐层保护
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YBCO 膜上形成类金刚石膜研究
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作者 刘心田 刘兴海 +3 位作者 陆惠秀 余榕 汤定元 余丙鲲 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第10期66-68,共3页
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman... 为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman谱所表征的C内部结构进行了分析,阐述了石墨态C转化为DLC结构的机制,提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型. 展开更多
关键词 类金刚石膜 钝化保护 薄膜 YBCO 红外探测器
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高性能重防蚀耐温防锈漆
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《表面工程资讯》 2004年第4期10-10,共1页
关键词 防锈漆 牺牲阳极 阴极保护 钝化保护 涂装工艺 武汉富迈仕新材料工有限公司
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化学品船的不锈钢货舱
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作者 崔益嵩 《海运情报》 2001年第3期28-28,共1页
关键词 学品船 不锈钢材料 货舱 成本 保护 防腐蚀
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Research on ultra-small textured surface of multicrystalline silicon solar cell 被引量:2
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作者 LI HaoFeng JIA Rui +8 位作者 DOU BingFei CHEN Chen XING Zhao YANG YongZhou DING WuChang MENG YanLong LIU XinYu YE TianChun LI ShangQing 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第4期952-956,共5页
The ultra-small textured surface of multicrystalline silicon solar cell,prepared by electroless chemical-etching method,shows an excellent anti-reflection property over a wide spectral bandwidth.A novel back surface p... The ultra-small textured surface of multicrystalline silicon solar cell,prepared by electroless chemical-etching method,shows an excellent anti-reflection property over a wide spectral bandwidth.A novel back surface protection method and front surface passivation method have been used in the multicrystalline solar cells with ultra-small textured surfaces.With these improvements,the back surface remains intact after the etch process and the efficient minority lifetime is apparently increased.The test result shows that the solar cell with ultra-small textured surface can obtain better electrical performances by these improvements. 展开更多
关键词 mc-Si solar cell ultra-small texture ANTI-REFLECTION surface passivation
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