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Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究
1
作者
乌李瑛
瞿敏妮
+3 位作者
付学成
田苗
马玲
程秀兰
《真空》
CAS
2023年第1期30-35,共6页
介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子...
介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子层沉积氧化铝薄膜的质量和铜电极的保护性能起着决定性作用;以臭氧(O3)作为氧化剂,氧化铝薄膜极易脱落,与铜表面的结合力很差;以氧等离子体(O-)作为氧化剂,铜表面被氧化形成了氧化铜(CuOx)层;而以水蒸气(H2O)作为氧化剂,在低温100℃下,得到的Al2O3薄膜致密,无明显缺陷,且与铜金属层的结合力较优,对铜抗氧化保护效果良好;当沉积温度高于200℃时,原子层沉积氧化铝薄膜的缺陷明显增多;等离子增强ALD工艺中,当载气为Ar时,所得氧化铝膜厚度不均匀,铜电极发生强烈氧化。
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关键词
原子层沉积
铜电极
氧
化
铝
钝化保护
氧
化
剂
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职称材料
对苯二酚停炉保护剂最佳保护条件优选
被引量:
3
2
作者
朱浩
李倩
+1 位作者
于萍
罗运柏
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期51-53,8,共3页
为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触...
为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触角测试、交流阻抗谱、扫描电镜等评价钝化膜的性能。结果表明:当对苯二酚浓度为50 mg/L,温度为280℃,恒温时间为4 h,p H值为11时,对苯二酚在20碳钢试片表面的成膜效果最佳,钝化保护效果最好,其中恒温温度对气液相中成膜效果影响最大。
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关键词
对苯二酚
停炉
保护
成膜
钝化保护
优选
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职称材料
Fe系E(pE)-pH图及随时间变化规律
被引量:
5
3
作者
边莉
金宗哲
《全面腐蚀控制》
2008年第3期25-28,共4页
利用Fe-H2O二元平衡图的原理,测定铁在不同环境中长时间的腐蚀规律,通过研究Fe-H2O系平衡图在水,人造海水、盐酸、氢氧化钙中长时间观测溶液的氧化还原电位和pH值在腐蚀区和钝化区之间的变化,探索铸铁在不同溶液中防锈的可能途径。
关键词
电
化
学腐蚀
Fe系E(pE)-pH图
氧
化
还原电位
氢氧
化
钙
钝化保护
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职称材料
不锈钢工艺管线外表面防腐蚀保护
被引量:
6
4
作者
杨媚媚
刘忠斌
吕建伟
《全面腐蚀控制》
2010年第3期29-31,共3页
从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的...
从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的防腐蚀措施,一直是各国研究的对象。为了避免高温操作条件下,氯离子对不锈钢管线表面造成腐蚀,本工程项目中对其选用了喷涂覆盖层的防腐措施。
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关键词
不锈钢
表面处理
钝
化
防腐层
保护
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职称材料
YBCO 膜上形成类金刚石膜研究
5
作者
刘心田
刘兴海
+3 位作者
陆惠秀
余榕
汤定元
余丙鲲
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第10期66-68,共3页
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman...
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman谱所表征的C内部结构进行了分析,阐述了石墨态C转化为DLC结构的机制,提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型.
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关键词
类金刚石膜
钝化保护
膜
薄膜
YBCO
红外探测器
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职称材料
高性能重防蚀耐温防锈漆
6
《表面工程资讯》
2004年第4期10-10,共1页
关键词
防锈漆
牺牲阳极
阴极
保护
钝化保护
膜
涂装工艺
武汉富迈仕新材料
化
工有限公司
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职称材料
化学品船的不锈钢货舱
7
作者
崔益嵩
《海运情报》
2001年第3期28-28,共1页
关键词
化
学品船
不锈钢材料
货舱
成本
钝
化
层
保护
防腐蚀
原文传递
题名
Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究
1
作者
乌李瑛
瞿敏妮
付学成
田苗
马玲
程秀兰
机构
上海交通大学电子信息与电气工程学院先进电子材料与器件平台
出处
《真空》
CAS
2023年第1期30-35,共6页
基金
2021年上海交通大学决策咨询重点课题(No.JCZXSJA-04)
2020年上海交通大学决策咨询课题(No.JCZXSJB2020-010)。
文摘
介绍了硅功率器件Cu电极保护钝化膜层氧化铝的制备方法。采用热法ALD工艺和等离子增强ALD工艺在铜上沉积氧化铝薄膜,研究了不同ALD工艺、氧化剂种类、沉积温度和载气对氧化铝膜层质量及铜抗氧化保护效果的影响。结果表明:氧化剂对原子层沉积氧化铝薄膜的质量和铜电极的保护性能起着决定性作用;以臭氧(O3)作为氧化剂,氧化铝薄膜极易脱落,与铜表面的结合力很差;以氧等离子体(O-)作为氧化剂,铜表面被氧化形成了氧化铜(CuOx)层;而以水蒸气(H2O)作为氧化剂,在低温100℃下,得到的Al2O3薄膜致密,无明显缺陷,且与铜金属层的结合力较优,对铜抗氧化保护效果良好;当沉积温度高于200℃时,原子层沉积氧化铝薄膜的缺陷明显增多;等离子增强ALD工艺中,当载气为Ar时,所得氧化铝膜厚度不均匀,铜电极发生强烈氧化。
关键词
原子层沉积
铜电极
氧
化
铝
钝化保护
氧
化
剂
Keywords
ALD
copper electrode
Al2O3
passivation protection
oxidant
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
对苯二酚停炉保护剂最佳保护条件优选
被引量:
3
2
作者
朱浩
李倩
于萍
罗运柏
机构
武汉大学化学与分子科学学院
出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期51-53,8,共3页
基金
国家科技支撑计划(2012BAC02B03)资助
文摘
为寻找环保新型停炉保护剂,采用高压釜模拟高温高压的水汽系统环境,采用正交试验优选了高温高压和碱性条件下,对苯二酚分别在气液和液相中对20碳钢的钝化保护条件,并综合分析得到气液相最佳保护工艺条件。采用酸性硫酸铜点滴试验、接触角测试、交流阻抗谱、扫描电镜等评价钝化膜的性能。结果表明:当对苯二酚浓度为50 mg/L,温度为280℃,恒温时间为4 h,p H值为11时,对苯二酚在20碳钢试片表面的成膜效果最佳,钝化保护效果最好,其中恒温温度对气液相中成膜效果影响最大。
关键词
对苯二酚
停炉
保护
成膜
钝化保护
优选
Keywords
hydroquinone
protective agent for boiler lay-up
film-formation
protective condition
optimization
分类号
TG174.42 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
Fe系E(pE)-pH图及随时间变化规律
被引量:
5
3
作者
边莉
金宗哲
机构
北京交通大学材料研究所
出处
《全面腐蚀控制》
2008年第3期25-28,共4页
文摘
利用Fe-H2O二元平衡图的原理,测定铁在不同环境中长时间的腐蚀规律,通过研究Fe-H2O系平衡图在水,人造海水、盐酸、氢氧化钙中长时间观测溶液的氧化还原电位和pH值在腐蚀区和钝化区之间的变化,探索铸铁在不同溶液中防锈的可能途径。
关键词
电
化
学腐蚀
Fe系E(pE)-pH图
氧
化
还原电位
氢氧
化
钙
钝化保护
Keywords
electrochemical corrosion
E(pE)-pH diagrams of Fe System
potential
calcium hydroxide
passivation
分类号
TG172.5 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
不锈钢工艺管线外表面防腐蚀保护
被引量:
6
4
作者
杨媚媚
刘忠斌
吕建伟
机构
海洋石油工程股份有限公司建造公司
出处
《全面腐蚀控制》
2010年第3期29-31,共3页
文摘
从工程上来看,不锈钢材料不是在任何情况下都具有较好的耐蚀性,在一定条件下,可能会出现点蚀、缝隙腐蚀、应力腐蚀和晶间腐蚀等现象。由于不锈钢设备的破坏主要是由孔蚀和应力腐蚀破裂所造成,因此对石油开采设施寻求合理、经济、有效的防腐蚀措施,一直是各国研究的对象。为了避免高温操作条件下,氯离子对不锈钢管线表面造成腐蚀,本工程项目中对其选用了喷涂覆盖层的防腐措施。
关键词
不锈钢
表面处理
钝
化
防腐层
保护
Keywords
stainless steel
surface preparation
passivating
anti-corrosion protection
分类号
TG174.22 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
YBCO 膜上形成类金刚石膜研究
5
作者
刘心田
刘兴海
陆惠秀
余榕
汤定元
余丙鲲
机构
中国科学院上海技术物理研究所
上海大学物理系
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第10期66-68,共3页
文摘
为防止高Tc超导探测器的超导电性退化或失超,用C+注入、XeCl准分子激光辐照形成类金刚石(DLC)保护膜.该膜结合紧密,克服了DLC/YBCO两种材料晶格失配、线胀系数与热导率相差太大的矛盾.对DLC膜的Raman谱所表征的C内部结构进行了分析,阐述了石墨态C转化为DLC结构的机制,提出了激光所造成的瞬时高温、高压模型.
关键词
类金刚石膜
钝化保护
膜
薄膜
YBCO
红外探测器
Keywords
diamond like carbon film
DLC/YBCO
passivation protection film
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
高性能重防蚀耐温防锈漆
6
出处
《表面工程资讯》
2004年第4期10-10,共1页
关键词
防锈漆
牺牲阳极
阴极
保护
钝化保护
膜
涂装工艺
武汉富迈仕新材料
化
工有限公司
分类号
TQ63 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
化学品船的不锈钢货舱
7
作者
崔益嵩
出处
《海运情报》
2001年第3期28-28,共1页
关键词
化
学品船
不锈钢材料
货舱
成本
钝
化
层
保护
防腐蚀
分类号
U674.133.2 [交通运输工程—船舶及航道工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Cu电极保护膜层氧化铝的原子层沉积工艺研究
乌李瑛
瞿敏妮
付学成
田苗
马玲
程秀兰
《真空》
CAS
2023
0
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职称材料
2
对苯二酚停炉保护剂最佳保护条件优选
朱浩
李倩
于萍
罗运柏
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
下载PDF
职称材料
3
Fe系E(pE)-pH图及随时间变化规律
边莉
金宗哲
《全面腐蚀控制》
2008
5
下载PDF
职称材料
4
不锈钢工艺管线外表面防腐蚀保护
杨媚媚
刘忠斌
吕建伟
《全面腐蚀控制》
2010
6
下载PDF
职称材料
5
YBCO 膜上形成类金刚石膜研究
刘心田
刘兴海
陆惠秀
余榕
汤定元
余丙鲲
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
0
下载PDF
职称材料
6
高性能重防蚀耐温防锈漆
《表面工程资讯》
2004
0
下载PDF
职称材料
7
化学品船的不锈钢货舱
崔益嵩
《海运情报》
2001
0
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