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钨(W)台阶覆盖填充能力的研究 被引量:1
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作者 李飞 《电子技术与软件工程》 2016年第10期110-111,共2页
本文根据钨(W)的相关特性,对其与工艺的影响和关系进行了研究,通过实验并分析证实了钨(W)在接触孔或通孔的填充能力与相关工艺条件存在着一定的相关性。
关键词 (w) 接触孔 通孔
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金属有机化学气相沉积W薄膜 被引量:3
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作者 李一 李金普 +3 位作者 贾成厂 柳学全 李发长 李楠 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期334-338,共5页
以W(CO)6为前驱体,采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在Cu基体表面进行了沉积W薄膜的研究。通过调整W(CO)6热解温度、W(CO)6气化温度及载气(高纯氢气)的流量等工艺参数,成功制备了均匀、致密的W薄膜;研究了沉积速率与上述参数之间的关... 以W(CO)6为前驱体,采用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)在Cu基体表面进行了沉积W薄膜的研究。通过调整W(CO)6热解温度、W(CO)6气化温度及载气(高纯氢气)的流量等工艺参数,成功制备了均匀、致密的W薄膜;研究了沉积速率与上述参数之间的关系,并得出了在本试验条件下应用金属有机化学气相沉积法(MOCVD)制备W薄膜的最佳工艺参数:热解温度为320~380℃,载气流量为160~200ml/min。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 六羰基(w(CO)6) 薄膜
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热冲击对添加纳米TaC的SPS烧结钨力学性能的影响 被引量:2
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作者 张苹苹 沈卫平 +1 位作者 李岩 丁鑫 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第4期88-91,共4页
用放电等离子体烧结法(SPS)制备了纳米碳化钽(TaC)弥散强化钨块,烧结钨块在800℃下保温5 min,然后充入室温下的氩气10 min,进行抗热冲击性试验,研究了不同热冲击次数和TaC含量对烧结钨块力学性能的影响。结果表明:烧结钨块的相对密度随... 用放电等离子体烧结法(SPS)制备了纳米碳化钽(TaC)弥散强化钨块,烧结钨块在800℃下保温5 min,然后充入室温下的氩气10 min,进行抗热冲击性试验,研究了不同热冲击次数和TaC含量对烧结钨块力学性能的影响。结果表明:烧结钨块的相对密度随热冲击次数的增加而降低,当冲击150次时试样的相对密度达到了最低,随TaC含量的增多,相对密度先增大后降低;烧结钨块经热冲击后,维氏硬度和抗弯强度都增大,并且维氏硬度随TaC含量的增多也显著提高,当冲击150次后,TaC含量为4%时烧结钨得到了最高硬度(1300 HV0.1/10)。 展开更多
关键词 热冲击 (w) 碳化钽(TaC) 力学性能
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扫描隧道显微镜钨针尖的制备与表征 被引量:2
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作者 王学慧 程协 曾红 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第4期333-338,共6页
采用直流电化学刻蚀方法制备扫描隧道显微镜钨针尖,研究了电化学刻蚀过程中NaOH溶液浓度、钨丝浸入长度和刻蚀电压对针尖形貌的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)测量针尖曲率半径和针尖纵横比值,以表征针尖的尺寸和形状;通过能谱仪(EDS)... 采用直流电化学刻蚀方法制备扫描隧道显微镜钨针尖,研究了电化学刻蚀过程中NaOH溶液浓度、钨丝浸入长度和刻蚀电压对针尖形貌的影响。通过扫描电子显微镜(SEM)测量针尖曲率半径和针尖纵横比值,以表征针尖的尺寸和形状;通过能谱仪(EDS)分析针尖表面成分,以表征表面清洁度;通过场发射显微镜(FEM)得到Fowler-Nordheim (F-N)曲线来检测针尖发射性能。实验结果表明,当溶液浓度为2 mol/L、钨丝浸入长度为4 mm、刻蚀电压为3 V时,可以得到曲率半径约为100 nm、纵横比值为13的针尖,且表面无钨的氧化层。FEM结果显示当对针尖施加500 V的负偏压时,针尖可以稳定发射50 nA量级的电流,且针尖性能具有良好的一致性。 展开更多
关键词 扫描隧道显微镜(STM) 电化学刻蚀 扫描电子显微镜(SEM) 场发射显微镜(FEM) (w) 针尖
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钨含量对全片层结构TiAl合金蠕变性能的影响
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作者 陈文浩 黄泽文 《装备制造技术》 2009年第10期35-39,共5页
在1000h、700℃条件下,研究了0 at.%(原子百分比)、1 at.%、1.4 at.%W含量的全片层铸态TiAl合金的蠕变性能。研究发现:1at.%W含量的TiAl合金具有最好的蠕变性能,不含W的居中,而1.4at.%W含量的TiAl合金的蠕变性能最差。相比于含W量对蠕... 在1000h、700℃条件下,研究了0 at.%(原子百分比)、1 at.%、1.4 at.%W含量的全片层铸态TiAl合金的蠕变性能。研究发现:1at.%W含量的TiAl合金具有最好的蠕变性能,不含W的居中,而1.4at.%W含量的TiAl合金的蠕变性能最差。相比于含W量对蠕变性能的影响,片层晶团尺度对TiAl合金的蠕变性能有着更关键的作用:细化晶粒能明显降低合金的蠕变性能。研究还发现,当晶团尺寸相当时,含W合金的蠕变性能则优于不含W的合金。 展开更多
关键词 TIAL (w) 片层 高温 蠕变 力学性能
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W-State Generation and Manipulation for Ion-Trap-Based Quantum-Information Processing
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作者 贾竹君 汪新文 汪志勇 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2010年第1期63-66,共4页
We propose an ion-trap scheme for one-step generation of a special configuration of W-class state which has recently been shown to be better than canonical W states for several quantum-information processing tasks. We... We propose an ion-trap scheme for one-step generation of a special configuration of W-class state which has recently been shown to be better than canonical W states for several quantum-information processing tasks. We also present a method for one-step realization of a nontrivial collective operation which can transform a canonical W state into a fully separable state. Such a transformation plays a key role in recently proposed quantum protocols. The operation speed in our schemes increases with the number of qubits. This is contrary to usual entanglement generation and quantum manipulation schemes which take more and more time with the increase of the number of qubits. 展开更多
关键词 entanglement production and manipulation w-class entangled states ION-TRAP one-step schemes
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Syntheses of Two Chiral Clusters [η~5-C_5H_4C(NR)CH_3]- RuNiM(CO)_5(μ_3-S) (R =NH-C_6H_3-2,4-(NO_2)_2,M=Mo,3;M=W,4) and the Single-crystal Structure of Cluster 3
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作者 边治国 陈玉岗 +1 位作者 殷元骐 李庆山 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第3期301-304,共4页
The new chiral clusters [h5-C5H4C(NR)CH3]RuNiM(CO)5(m3-S) (R = NH-C6H3-2,4- (NO2)2, M = Mo, 3; M = W, 4) were synthesized and the structure of cluster 3 was determined by single-crystal X-ray analysis. Crystal data: C... The new chiral clusters [h5-C5H4C(NR)CH3]RuNiM(CO)5(m3-S) (R = NH-C6H3-2,4- (NO2)2, M = Mo, 3; M = W, 4) were synthesized and the structure of cluster 3 was determined by single-crystal X-ray analysis. Crystal data: C23H16O9N4MoNiRuS, Mr = 780.18, orthorhombic, space group Pbca with the following crystallographic parameters: a = 13.207(4), b = 16.036(5), c = 25.513(8) , Z = 8, V = 5403(3) 3, Dc = 1.918 g/cm3, m = 1.834 mm-1 and F(000) = 3072. The final R = 0.0512 and wR = 0.1132 for 2525 reflections with I > 2.00s(I). 展开更多
关键词 synthesis CHIRAL CLUSTER crystal structure
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Novel synthetic route to Ce-Cu-W-O microspheres for efficient catalytic oxidation of vinyl chloride emissions
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作者 Xiaoshan Feng Yingbin Zheng +6 位作者 Daifeng Lin Enhui Wu Yongjin Luo Yufeng You Hun Xue Qingrong Qian Qinghua Chen 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期1864-1872,共9页
The solubility of ammonium tungstate in a special hydrothermal condition is exploited to synthesize uniform microspheres of Ce-Cu-W-O oxides.Compared to their W-undoped counterparts,they possess more Ce^3+ and oxygen ... The solubility of ammonium tungstate in a special hydrothermal condition is exploited to synthesize uniform microspheres of Ce-Cu-W-O oxides.Compared to their W-undoped counterparts,they possess more Ce^3+ and oxygen vacancies,thereby promoting oxygen mobility.The formed rich WO3 surface can effectively provide acid sites,which is helpful for adsorption of vinyl chloride and interrupting the C-Cl bond.In addition,the presence of WO3 induces the formation of finer CuO nanoparticles with respect to the traditional coprecipitation method,thereby resulting in a better reducibility.Benefiting from both the enhanced acidity and reducibility,the Ce-Cu-W-O microspheres deliver excellent low-temperature vinyl chloride oxidation activity(a reaction rate of 2.01×10^-7 mol/(gcat·s)at 250℃)and high HCl selectivity.Moreover,subtle deactivation occurs after the three cycling activity tests,and a stable vinyl chloride conversion as well as mineralization are observed during the 72-h durability test at 300℃,which demonstrates good thermal stability.Our strategy can provide new insights into the design and synthesis of metal oxides for catalytic oxidation of chlorinated volatile organic compounds. 展开更多
关键词 Catalytic vinyl chloride oxidation Ce-Cu-w-O microspheres Solubility of ammonium tungstate Rich surface wO3 Fine CuO nanoparticles
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一种金属填充硅通孔工艺的研究 被引量:5
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作者 肖胜安 程晓华 +3 位作者 吴智勇 许升高 季伟 何亦骅 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期180-183,共4页
硅通孔(Through silicon via)的互连技术是3D IC集成中的一种重要工艺。报道了一种高深宽比的垂直互连穿透硅通孔工艺,其通孔的深宽比达到50以上;研究了利用钨填充硅通孔的一些关键工艺,包括阻挡层淀积工艺和钨填充工艺,分析了不同填充... 硅通孔(Through silicon via)的互连技术是3D IC集成中的一种重要工艺。报道了一种高深宽比的垂直互连穿透硅通孔工艺,其通孔的深宽比达到50以上;研究了利用钨填充硅通孔的一些关键工艺,包括阻挡层淀积工艺和钨填充工艺,分析了不同填充工艺所造成的应力的变化。最后获得了一种深宽比达到58∶1的深硅通孔无缝填充。 展开更多
关键词 硅通孔 金属(w) 覆盖率 无缝填充
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W含量对Ti-48Al合金组织及力学性能影响
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作者 晏江飞 朱冬冬 +3 位作者 董多 王刚 马腾飞 王晓红 《特种铸造及有色合金》 CAS 北大核心 2023年第4期549-553,共5页
采用真空电弧熔炼技术制备了Ti-48Al-xW合金,研究了W含量对Ti-48Al合金组织及力学性能的影响。结果表明,添加W元素后,合金组织为典型的树枝晶形貌,在枝晶内部有B2相析出。随着W含量增加,树枝晶组织逐渐细化,B2相体积分数也逐渐增加。室... 采用真空电弧熔炼技术制备了Ti-48Al-xW合金,研究了W含量对Ti-48Al合金组织及力学性能的影响。结果表明,添加W元素后,合金组织为典型的树枝晶形貌,在枝晶内部有B2相析出。随着W含量增加,树枝晶组织逐渐细化,B2相体积分数也逐渐增加。室温压缩试验结果表明,合金的抗压强度和压缩率随W含量的增加呈现先上升后下降的趋势。其中,W含量为4%的合金压缩强度最高,为1 750.07 MPa, W含量为2%的合金压缩率最优,为29.15%。 展开更多
关键词 TIAL合金 (w) 枝晶偏析 B2相 力学性能
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一种新型硅通孔金属填充工艺研究 被引量:3
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作者 程晓华 高杏 《集成电路应用》 2016年第11期31-35,共5页
穿透硅通孔(Through Si via interconnect)是3D IC集成中的一种重要工艺。钨化学气相淀积在半导体工业中被广泛应用,其在接触孔/通孔填充中出色的台阶覆盖能力。但采用其作为填充金属时,会产生巨大的拉应力(tensile stress)。这是一种... 穿透硅通孔(Through Si via interconnect)是3D IC集成中的一种重要工艺。钨化学气相淀积在半导体工业中被广泛应用,其在接触孔/通孔填充中出色的台阶覆盖能力。但采用其作为填充金属时,会产生巨大的拉应力(tensile stress)。这是一种钨淀积与刻蚀在同一反应腔内连续作业的填充高深宽比硅通孔工艺的方法。主要研究了反应腔压力、喷淋头与基座之间的距离、氩气流量主要工艺参数对钨刻蚀工艺的影响,最终获得了一种深硅通孔无缝填充的稳定工艺。 展开更多
关键词 硅通孔 金属(w) 化学气相沉积 刻蚀
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带有碳杂质的钨中氢稳定性的第一性原理研究 被引量:1
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作者 金硕 孙璐 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期320-325,共6页
应用第一性原理计算方法研究了碳(C)原子对钨(W)中氢(H)原子稳定性的影响.本征W中,当C-H间距离为~2.5(?)时,H的溶解能出现最低值,此时为H最稳定的位置.W中存在空位时,由于C的影响,H占据的最佳电子密度面值为0.10(?)^(-3).研究发现,W中... 应用第一性原理计算方法研究了碳(C)原子对钨(W)中氢(H)原子稳定性的影响.本征W中,当C-H间距离为~2.5(?)时,H的溶解能出现最低值,此时为H最稳定的位置.W中存在空位时,由于C的影响,H占据的最佳电子密度面值为0.10(?)^(-3).研究发现,W中单空位最多能容纳10个H原子,且不能形成H分子,不同于没有C存在的情况,表明C对W中H稳定性存在很大影响.此外,当两个C原子存在于空位中时,H占据的最佳电子密度面值变为0.13(?)^(-3). 展开更多
关键词 氢(H) 碳(C) (w) 第一性原理方法
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