钨酸锆薄膜样品高温衍射测试方法

基于不对称布拉格反射理论,以平行光掠入射方式配合普通X射线粉末衍射仪的高温样品台,研究了玻璃基钨酸锆薄膜样品的高温衍射测试方法,与聚焦光方式相比,减弱了玻璃基体的噪音影响,增加了衍射峰的强度,提高了谱图的可读性。XRD数据表明:钨酸锆薄膜样品的晶格常数随温度升高而变小,从25℃时的0.91791 nm逐步变小至600℃时的0.91243 nm。

热处理工艺对ZrW_2O_8薄膜组成与形态的影响(英文)

采用射频磁控溅射法在石英基片上制备了厚度约为200nm的ZrW2O8薄膜。在不同温度下对薄膜进行热处理,通过X射线衍射和扫描电镜研究了热处理温度与热处理过程中通氧量大小对ZrW2O8薄膜组分与形态的影响。结果表明:在空气中热处理时,随着热处理温度的升高,薄膜由非晶态转变为晶态;经750℃处理的薄膜组成中ZrW2O8含量增大;热处理温度再升高,ZrW2O8逐步分解直至消失。在热处理过程中通入氧气,能使薄膜ZrW2O8含量增加,晶化效果更好,薄膜的形态更平整;在740℃热处理过程中通氧量达到20.8L/s后,再增加通氧量对薄膜的晶化影响不大。