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适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备
1
作者
王利卿
张国辉
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期1-3,共3页
以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响。结果表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率...
以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响。结果表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率的提高,孔隙率明显降低,内应力增大;当占空比为20%~30%、脉冲频率为1.0 kHz时,采用脉冲电沉积方法能制备出适用于微机电器件的钯-镍合金膜层。
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关键词
钯-镍合金膜层
微机电器件
孔隙率
内应力
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题名
适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备
1
作者
王利卿
张国辉
机构
河南水利与环境职业学院机电与信息工程系
郑州航空工业管理学院管理工程学院
出处
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2020年第2期1-3,共3页
基金
河南省职业教育教学改革研究项目(ZJA15155)。
文摘
以紫铜片为基体,采用脉冲电沉积方法制备了钯-镍合金膜层。选取占空比和脉冲频率作为变量,分别研究了占空比和脉冲频率对钯-镍合金膜层的孔隙率和内应力的影响。结果表明:随着占空比的增大,孔隙率升高,内应力先减小后增大;随着脉冲频率的提高,孔隙率明显降低,内应力增大;当占空比为20%~30%、脉冲频率为1.0 kHz时,采用脉冲电沉积方法能制备出适用于微机电器件的钯-镍合金膜层。
关键词
钯-镍合金膜层
微机电器件
孔隙率
内应力
Keywords
Pd
-
Ni alloy film
micro
-
electro
-
mechanical devices
porosity
internal stress
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
适用于微机电器件的钯-镍合金膜层的制备
王利卿
张国辉
《电镀与环保》
CAS
CSCD
北大核心
2020
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