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阻挡层CMP中盐酸胍对铜和钽抛光速率的影响 被引量:6
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作者 李海龙 刘玉岭 +2 位作者 王辰伟 张宏远 高娇娇 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第9期586-591,共6页
在铜互连超大规模集成电路(ULSI)中,由于铜和钽的物理化学性质的差异造成两者的去除速率不同,导致布线晶圆表面抛光后出现碟形坑等缺陷。针对该问题,研究了盐酸胍(CH5N3·HCl)对Cu和Ta去除速率选择性的影响。根据Cu和Ta的CMP机理,... 在铜互连超大规模集成电路(ULSI)中,由于铜和钽的物理化学性质的差异造成两者的去除速率不同,导致布线晶圆表面抛光后出现碟形坑等缺陷。针对该问题,研究了盐酸胍(CH5N3·HCl)对Cu和Ta去除速率选择性的影响。根据Cu和Ta的CMP机理,通过在有氧化剂和无氧化剂环境下的实验对比,以及不同质量分数的盐酸胍对Cu和Ta去除速率选择性的影响,对盐酸胍在钽CMP中的作用进行了定性和定量分析,确定并优化了盐酸胍及氧化剂的含量,使钽的去除速率快于铜的去除速率。应用上述抛光液对300mm布线晶圆进行阻挡层抛光实验,通过对碟形坑的检测,证明了该种抛光液能够高速、有效地修正碟形坑。 展开更多
关键词 盐酸胍(CH5N3·HCl) 化学机械抛光(CMP) 阻挡层 (ta) 选择性 碟形坑
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Ta对低铬高钨镍基单晶高温合金微观组织的影响
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作者 吕明 石怀荣 刘传让 《机械工程师》 2013年第12期26-28,共3页
通过对3种不同Ru和Cr含量的低Cr高W镍基单晶铸造高温合金1100℃的时效和热处理组织观察与γ/γ′两相的成分分析,研究Ta对镍基单晶高温合金铸态微观的影响。结果表明:Ta不会改变镍基单晶高温合金中析出相的种类,但会强烈促进共晶γ′的... 通过对3种不同Ru和Cr含量的低Cr高W镍基单晶铸造高温合金1100℃的时效和热处理组织观察与γ/γ′两相的成分分析,研究Ta对镍基单晶高温合金铸态微观的影响。结果表明:Ta不会改变镍基单晶高温合金中析出相的种类,但会强烈促进共晶γ′的形成。Ta改变了γ′的形貌,随Ta含量增加,γ′形状由圆形向方形转变。 展开更多
关键词 镍基单晶高温合金 (ta) 显微组织
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钽十钨合金表面硅化物涂层制备及失效分析 被引量:3
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作者 于永祥 周小军 赵刚 《科技资讯》 2012年第14期81-82,共2页
钽十钨合金(Ta10W)具有很高的高温强度、良好的延展性、可焊性和优良的耐腐蚀性能,适用于高温、高压、耐腐蚀等工作环境,广泛应用在化工、航空航天、原子能工业和高温元器件等领域。但Ta10W合金大气下的高温抗氧化性能则相对较差,在500... 钽十钨合金(Ta10W)具有很高的高温强度、良好的延展性、可焊性和优良的耐腐蚀性能,适用于高温、高压、耐腐蚀等工作环境,广泛应用在化工、航空航天、原子能工业和高温元器件等领域。但Ta10W合金大气下的高温抗氧化性能则相对较差,在500℃时Ta10W合金就会出现"pest"氧化现象,温度越高,氧化越剧烈,直至完全"粉化"破坏。采用1500℃~1600℃,保温10min~30min的料浆熔烧工艺,在合金表面制备具有良好热稳定性和高温抗氧化性的硅化物涂层,涂层可以保护合金基体不受高温腐蚀或减缓腐蚀速率,保持合金基体成分不变,可以保留室温下基材强度不低于原基材强度的90%,延伸率不低于10%。通过观察分析,发现合金表面硅化物涂层静态抗氧化失效是由于涂层不断氧化脱落造成,热震抗氧化失效是由于涂层与基材之间的热膨胀系数差异形成细微裂纹导致。涂层与基材之间的热膨胀系数越接近,涂层的抗热震性能越优异。 展开更多
关键词 十钨(ta10W)合金 高温抗氧化涂层 静态 热震 失效
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Dehydration of sugars to 5-hydroxymethylfurfural and non-stoichiometric formic and levulinic acids over mesoporous Ta and Ta-W oxide solid acid catalysts
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作者 Bin Guo Lulu He +5 位作者 Gangfeng Tang Li Zhang Lin Ye Bin Yue Shik Chi Edman Tsang Heyong He 《Chinese Journal of Catalysis》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期1248-1260,共13页
A series of mesoporous Ta and Ta-W oxides have been prepared and employed as solid acid catalysts for the dehydration of fructose and glucose to 5-hydroxymethylfurfural(HMF).Solid state 31 P MAS NMR spectroscopic resu... A series of mesoporous Ta and Ta-W oxides have been prepared and employed as solid acid catalysts for the dehydration of fructose and glucose to 5-hydroxymethylfurfural(HMF).Solid state 31 P MAS NMR spectroscopic results using trimethylphosphine(TMP)as a probe molecule show that the acid strength and the ratio of Br?nsted to Lewis acid sites increase gradually with the addition of tungsten in tantalum oxide.It is found that high sugar conversion and HMF selectivity are achieved over catalyst with relatively high ratios of Br?nsted to Lewis acid sites.Unexpected stoichiometric excess of formic acid relative to levulinic acid can be observed mainly because of direct decomposition of fructose over Lewis acid sites.The addition of 2-butanol leads to the increase of sugars conversion and the HMF selectivity,especially for the catalyst with high ratio of Br?nsted to Lewis acid sites.Among them,Ta7W3 oxide catalyst shows 54%HMF selectivity and good reusability with the addition of 2-butanol by extracting HMF from aqueous phase and removing humins deposed on the surface of the catalyst. 展开更多
关键词 Glucose FRUCTOSE HMF Solid acid tantalum oxide ta-W oxide
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ф25.4mm×0.5mm钽(Ta)管焊接接头的X射线检测
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作者 徐生东 戴敬东 《无损探伤》 2007年第4期33-34,共2页
针对ф25.4 mm×0.5 mm钽(Ta)管焊接接头的结构特点从理论上对其X射线检测进行了分析,从实际拍片检测过程中确定了最佳的工艺参数,提出了切实可行的X射线检测工艺方法并对其焊接中常见的缺陷作了简要的概述。
关键词 (ta)管 X射线检测 常见缺陷 黑度 灵敏度
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