钽件专用离子渗氮设备研制

针对精密钽制零件表面渗氮的特殊要求 ,通过炉内阴极面积可调的结构设计 ,研制了温度可达 85 0℃ ,压升率低于 0 0 0 4 5Pa/min的钽专用离子渗氮炉。将阴极分成若干独立部分 ,单独将某些部分接入负偏压用作辅助阴极 ,也可将其中某些部分接入零电位用作辅助阳极 ,也可保持悬浮电位 ,只用作隔热屏 ,将等离子体参数和温度、阴极电流和电压施行独立调控。通过工艺试验 ,成功地实现了精密钽件的离子渗氮 ,获得了高硬度、低粗糙度的渗氮层。