Excimer紫外灯辐照法钽氧化物膜XPS分析

报道了利用新型紫外光源—Ｅｘｃｉｍｅｒ紫外灯辐照制备钽氧化物薄膜的新方法，并对所制备的薄膜进行了Ｘ光光电子能谱（ＸＰＳ）分析，分析结果表明：所制备的钽氧化物薄膜不含碳而且符合化学计量比。