羰基金属气相沉积方法进行Al_2O_3基片表面合金化研究

利用羰基金属气相沉积的方法 ,以Fe (CO) 5和Mo(CO) 6为源 ,在Al2 O3 陶瓷基片上 ,制备了具有一定的化学组成和稳定的显微结构的Fe/Mo表面合金化层 ,大大提高了材料的表面性能 .作为表面改性的新技术 。