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复合靶磁控溅射离子镀膜技术 被引量:2
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作者 毛德才 张秀娥 《航天工艺》 2000年第1期5-8,共4页
从理论上、实践上比较了多种镀膜技术 ,确认了在铁氧体移相器单元表面镀膜最好且实用的技术是复合靶、磁控溅射离子镀技术 ,并进一步阐述。
关键词 复合靶 磁控溅射 离子镀 雷达 铁氧体移相器单元
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