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矩形铁氧体衬底抗蚀剂的旋涂特性 被引量:1
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作者 倪经 魏恭 +2 位作者 陈彦 周俊 谭士杰 《磁性材料及器件》 CSCD 北大核心 2012年第3期37-39,共3页
采用半导体工艺的旋转涂胶法,在矩形铁氧体衬底上旋涂抗蚀剂,研究了其涂覆特性,给出了抗蚀剂的厚度与旋涂转速和旋涂时间的关系曲线及均匀性。随着旋涂转速的提高,抗蚀剂的厚度逐渐减薄;当旋涂转速大于2500r/min时,抗蚀剂厚度差小于5%... 采用半导体工艺的旋转涂胶法,在矩形铁氧体衬底上旋涂抗蚀剂,研究了其涂覆特性,给出了抗蚀剂的厚度与旋涂转速和旋涂时间的关系曲线及均匀性。随着旋涂转速的提高,抗蚀剂的厚度逐渐减薄;当旋涂转速大于2500r/min时,抗蚀剂厚度差小于5%。同时,随着旋涂时间的延长,抗蚀剂厚度也会减小,并最终趋向一个恒定值;当旋涂时间长于20s时,抗蚀剂厚度差小于5%。最后,分析了旋涂中心对抗蚀剂旋涂性能的影响。 展开更多
关键词 铁氧体衬底 光刻 抗蚀剂 旋涂
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Microstructure and magnetic properties of CoFe_2O_4 thin films deposited on Si substrates with an Fe_3O_4 under-layer 被引量:1
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作者 ZHONG ZhiYong ZHANG HuaiWu +3 位作者 TANG X iaoLi JING YuLan BAI FeiMing LIU Shuang 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2011年第7期1235-1238,共4页
The microstructure and magnetic properties of cobalt ferrite thin films deposited by the sputtering method on an Fe3o4 un- der-layer were investigated at different post-annealing temperatures. Results show that the Fe... The microstructure and magnetic properties of cobalt ferrite thin films deposited by the sputtering method on an Fe3o4 un- der-layer were investigated at different post-annealing temperatures. Results show that the Fe3o4 under-layer can accelerate the grain growth of cobalt ferrite films due to the phase transformation of the Fe3o4 under-layer at about 400℃-500℃. By intro- ducing the Fe3O4 under-layer, cobalt ferrite nanocrystalline thin films with high coercivity can be obtained at lower post-annealing temperatures. 展开更多
关键词 magnetic materials magnetic thin filims cobalt ferrite
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