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PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制
被引量：
6
1
作者
夏冬林
刘梅冬
+2 位作者
曾亦可
陈实
赵修建
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期196-199,共4页
对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。
关键词
锆钛酸铅(PZT)
铁电
厚膜
铁电声纳换能器
湿法化学刻蚀
下载PDF
职称材料
题名
PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制
被引量：
6
1
作者
夏冬林
刘梅冬
曾亦可
陈实
赵修建
机构
武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室
华中科技大学电子科学与技术系
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期196-199,共4页
文摘
对8×8元阵列锆钛酸铅(PZT)厚膜声纳换能器芯片进行了设计,对PZT铁电厚膜的微图形的刻蚀工艺及其反应机理进行了深入的研究。最后成功地刻蚀出8×8元声纳换能器图形,为进一步研制PZT厚膜声纳换能器打下了良好的基础。
关键词
锆钛酸铅(PZT)
铁电
厚膜
铁电声纳换能器
湿法化学刻蚀
Keywords
lead zirconate titanate (PZT)
ferroelectric thick film
ferroelectric sonar transducer
wet chemical etching
分类号
TM22 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PZT铁电厚膜声纳换能器阵列的研制
夏冬林
刘梅冬
曾亦可
陈实
赵修建
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2004
6
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