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利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
1
作者
石川丰
蒋修治
《工业金刚石》
2005年第2期9-12,共4页
尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷...
尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。
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关键词
热丝化学气相沉积
铁衬底
金刚石
源气体喷射
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职称材料
题名
利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
1
作者
石川丰
蒋修治
机构
不详
日本
出处
《工业金刚石》
2005年第2期9-12,共4页
文摘
尝试用热丝化学气相沉积工艺(HFCVD)在铁衬底上合成金刚石。通过喷嘴向铁衬底上喷射源气体,可在大气压下合成金刚石。金刚石晶粒尺寸在180分钟内可生长到约20μm。用本工艺合成的金刚石只含有少量非金刚石碳。同铁衬底的情况一样,喷射源气体也有利于硅片上的金刚石合成。
关键词
热丝化学气相沉积
铁衬底
金刚石
源气体喷射
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用热丝CVD工艺在铁衬底上合成金刚石
石川丰
蒋修治
《工业金刚石》
2005
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