Fe-Ta-N纳米软磁薄膜的结构和磁性

用磁控溅射法在Ａｒ＋Ｎ２混合气氛中制备了性能优异的具有纳米结构的Ｆｅ－Ｔａ－Ｎ软磁薄膜。氮原子以间隙原子的形式进入纳米形态的α－Ｆｅ的晶格中，并引起了相应的晶格形变。随氮分压（ｐＮ２）的提高，α－Ｆｅ晶粒的尺寸迅速减小，在交换耦合作用下，表现出优异的软磁性能，氮分压较高时（ｐＮ２７％），Ｔａ原子和Ｎ原子将形成Ｔａ３Ｎ５化合物相，导致薄膜软磁性能的相应降低。