液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试

面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试。通过实验测试,在室温条件下,传感器加热电阻为108.8Ω,测温电阻为525.2Ω,且测温电阻具有良好的温度-阻值线性度(R^(2)≥0.9999),传感器适用量程为0~90 mm/s,在极低流速0~20 mm/s范围测试,有较好的输出曲线关系,最高灵敏度达到0.06mV/(mm·s^(-1)),且有较好的稳定性能。传感器具有尺寸小、成本低、可批量制造,将为液体流速测量领域提供核心传感器。