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TFT玻璃基板中铂铑缺陷的分析与判定
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作者 张洪响 张晓东 +11 位作者 冯冠奇 张冲 曹志强 张淳 孟鹏 洪兰兰 舒众众 粟舜华 李阳 冯清华 周阳强 于龙光 《玻璃搪瓷与眼镜》 CAS 2021年第4期1-8,共8页
介绍了用显微镜分析法和场发射扫描电子显微镜分析法,分析TFT玻璃基板中铂铑缺陷的特征形貌,分析判定该缺陷的物质结构以及类型,为铂铑缺陷判断提供参考和判定依据,积累玻璃缺陷的分析经验。
关键词 TFT玻璃基板 缺陷分析 铂铑缺陷
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