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用铌基弹性膜片的耐蚀微压传感器
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作者 黄特伟 吴启民 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 1992年第3期1-2,5,共3页
用铌基弹性合金Nb—25Ti~5Al薄片为弹性膜片,用3J53合金棒材车制壳体,两者相焊成传感器元件。所装成的耐蚀微压传感器稳定性好、温漂小、精度高、反应快、频响范围宽、量程低且耐蚀性优异。特别适用于测腐蚀流体的微小压力(<1MPa)... 用铌基弹性合金Nb—25Ti~5Al薄片为弹性膜片,用3J53合金棒材车制壳体,两者相焊成传感器元件。所装成的耐蚀微压传感器稳定性好、温漂小、精度高、反应快、频响范围宽、量程低且耐蚀性优异。特别适用于测腐蚀流体的微小压力(<1MPa)。几年来实用于各方面,皆收到良好的应用效果。 展开更多
关键词 弹性膜片 微压传感器 铌基弹性合金
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