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LiNbO_3棱镜耦合双金属薄膜表面等离子共振传感器 被引量:4
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作者 符运良 刘汉军 +1 位作者 邹旭 杨红 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第3期18-21,共4页
高折射率铌酸锂(LiNbO_3)(2.202)为棱镜耦合激发的角度调制型表面等离子共振传感器,利用反射率公式优化单层银膜、金膜和双层银/金膜传感器薄膜的厚度,分别计算了优化厚度的传感器在检测样品折射率为1.330时的共振角、灵敏度、峰值半宽... 高折射率铌酸锂(LiNbO_3)(2.202)为棱镜耦合激发的角度调制型表面等离子共振传感器,利用反射率公式优化单层银膜、金膜和双层银/金膜传感器薄膜的厚度,分别计算了优化厚度的传感器在检测样品折射率为1.330时的共振角、灵敏度、峰值半宽度(FWHM)和品质因数(FOM),理论计算表明:双层金属薄膜,随着金膜厚度的增加,传感器灵敏度增加,但峰值半宽度增加,品质因数下降。综合考虑,选择银/金(41/5)优化组合,传感器品质因数为优化的单层金膜(47 nm)传感器品质因数的2倍以上,另外,与常用的BK7玻璃棱镜耦合相比,LiNbO_3棱镜耦合具有较大的样品动态检测范围。优化厚度的传感器实验检测糖水浓度表明:糖水浓度与共振角为线性比例关系。 展开更多
关键词 表面等离子共振 传感器 铌酸锂棱镜 灵敏度 品质因数
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